[发明专利]测定设备用台架

说明书

技术领域

本发明涉及一种测定设备用台架，该测定设备用台架使可用以对例如玻璃基板或半导体晶圆(wafer)等的测定基板进行检查的测定设备至少在水平面内滑动。

背景技术

以往，如专利文献1所示的测定设备用台架是在实际进行测定的设置场所中被组装。即，从制造工场运送出测定设备用台架的各零件，在设置场所中进行组装。

但是，在空间(space)有限的设置场所中组装各零件的作业复杂，且作业性往往会变差。另外，测定设备用台架若越大，则各零件的重量越大，由此，也存在作业性变差的问题。

另一方面，虽也可考虑在组装之后的状态下进行运送，但测定设备用台架若越大，则不仅会导致对于搬送车辆的装卸量巨大，而且会导致运送空间变大，效率不佳，现实问题是难以在组装之后的状态下运送。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2007-331086号公报

发明内容

因此，本发明是为了一举解决所述问题点而成的发明，主要的预期课题在于提供一种可折叠的测定设备用台架，该测定设备用台架不仅组装简单，而且节省运送空间。

即，本发明的测定设备用台架使测定设备至少在水平面内移动，其特征在于包括：长条构件，使所述测定设备沿着长度方向移动；以及一对第一框体，分别设置于所述长条构件的两端部，且具有用以使所述长条构件沿着与所述长度方向不同的方向移动的导轨(guide rail)，在一个第一框体相对于另一个第一框体而未被固定的状态下，所述长条构件的两端部沿着各自对应的所述第一框体的导轨，向互不相同的方向移动，使所述第一框体彼此的间隔扩大或缩小。

如此，可在将长条构件连结于一对第一框体的状态下进行折叠，在组装阶段，只要使第一框体的间隔扩大即可，因此，可在设置场所中容易地对台架进行组装。另外，由于以折叠状态来进行运送，因此，可节省运送空间。此外，即使例如当在无需使用测定设备用台架的情况下收纳该测定设备用台架时，使第一框体彼此的间隔变窄来进行折叠，借此，可节省收纳空间，再次使用时的组装也容易。

具体而言，为了能够在将长条构件连结于第一框体的状态下进行折叠，较佳为所述长条构件的两端部以可围绕沿着铅垂方向的旋转轴旋转的方式，连结于滑动自如地卡合于所述导轨的滑动构件，在所述一个第一框体相对于另一个第一框体未被固定的状态下，所述长条构件的两端部围绕所述旋转轴而旋转，借此来使所述长条构件的两端部沿着各自对应的所述第一框体的导轨，向互不相同的方向滑动，使所述第一框体彼此的间隔扩大或缩小。如此，当使第一框体扩大或缩小时，长条构件相对于滑动构件而发生旋转，借此，可使过度的力不易施加于导轨以及滑动构件，从而可防止导轨以及滑动构件的故障。

另外，本发明的测定设备用台架较佳为包括旋转限制构件，该旋转限制构件在所述导轨的两侧设置在所述长条构件与所述第一框体之间，限制所述第一框体以所述导轨的延伸方向作为旋转中心而相对于所述长条构件所发生的旋转。如此，当使第一框体扩大或缩小时，第一框体发生倾斜，可防止应力施加于导轨以及滑动构件而导致故障。另外，可对第一框体的斜度进行控制，从而可使第一框体容易地移动。

本发明的测定设备用台架较佳为包括第二框体，该第二框体对所述一对第一框体进行连结固定，使设置于各第一框体的导轨彼此平行，所述第二框体分别设置在所述第一框体的两端部，且包括：可旋转地连结于一个第一框体的端部的第一框架、可旋转地连结于另一个第一框体的端部的第二框架、以及对所述第一框架及所述第二框架进行连结固定的连接框架。如此，不仅可借由第二框体来使导轨彼此平行，而且借由对所述第二框体进行分担支撑，可将各框架予以轻量化，从而可使折叠时以及组装时的作业性提高。另外，可使第二框体(各框架)移动时所通过的区域变小，借此，也可使作业性提高。而且，由于利用连接框架来将第一框架以及第二框架予以连结，因此，可利用连接框架的长度来进行调整，以使导轨平行。

[发明的效果]

根据以所述方式构成的本发明，可提供可折叠的测定设备用台架，该测定设备用台架的组装简单，且可节省运送空间以及收纳空间。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的测定设备用台架的立体图。

图2是所述实施方式的测定设备用台架的平面图。

图3是所述实施方式的测定设备用台架的侧视图。