[发明专利]一种耐用物件的制备方法有效
申请号: | 201010548983.4 | 申请日: | 2010-09-18 |
公开(公告)号: | CN102041481A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | J·S·戈尔拉;H·A·G·斯特恩 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/08;G02B1/10;C09D1/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 耐用 物件 制备 方法 | ||
1.一种方法,所述方法包括:
a)提供包括硫化锌或硒化锌的物件;和
b)通过微波辅助磁控溅射以/分钟或更高的沉积速率在硫化锌或硒化锌上沉积厚度大于20μm的氧化铝层。
2.权利要求1的方法,进一步包括在硫化锌或硒化锌上沉积至少一层包括一种或更多种单体的组合物层和至少一层氧化铝层的交替层的步骤;并固化该组合物。
3.权利要求2的方法,其中该组合物进一步包括氧化铝颗粒。
4.权利要求2的方法,其中一种或多种单体选自多元醇、多胺、二异氰酸酯和二异氰酸酯衍生物。
5.按照权利要求1的方法制备的物件,所述物件具有大于20μm的氧化铝厚度。
6.权利要求5的物件,其中氧化铝厚度为从30μm至100μm。
7.权利要求5的物件,其中该物件是窗、导流罩或耐用透镜。
8.按照权利要求2的方法制备的物件,其中固化的组合物的厚度不大于10μm且氧化铝的厚度大于20μm。
9.权利要求7的物件,其中氧化铝的厚度为30μm至100μm。
10.权利要求8的物件,其中该物件是窗、导流罩或耐用透镜。
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