[发明专利]一种太阳能平板集热器集热板及其镀膜方法无效
| 申请号： | 201010552295.5 | 申请日： | 2010-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102062485A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 安百盈;王德法;张振涛;安百军 | 申请（专利权）人： | 山东帅克新能源有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/48 | 分类号： | F24J2/48;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 276200 山东省临沂市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 平板 集热器集热板 及其 镀膜 方法 | ||
1.一种太阳能平板集热器集热板，包括金属底板，其特征是在金属底板上依次设有一层氮化铝钛抗红外反射膜、两层氮氧化铝钛复合吸收膜和一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜；其镀膜方法是首先在金属底板上磁控反应溅射沉积一层氮化铝钛抗红外反射膜，再沉积两层氮氧化铝钛复合吸收膜，最后沉积一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜。
2.根据权利要求1所述的太阳能平板集热器集热板的镀膜方法，其特征是溅射气体为氩气，反应气体为氮气和氧气，具体操作步骤如下：
1)、在金属底板上溅射一层氮化铝钛抗红外反射膜，工作压强0.2-0.5Pa，反应气体氮气量20-200Sccm，溅射厚度0.04-0.3μm；
2)、再在抗红外反射膜上溅射第一层氮氧化铝钛复合吸收膜，钛铝的摩尔比为1∶1，工作压强0.2-0.8Pa，反应气体氮气，氮氧体积比0.2∶1，气体量60-150Sccm，溅射厚度0.04-0.1μm；
3)、然后在第一层氮氧化铝钛复合吸收膜上溅射第二层氮氧化铝钛复合吸收膜，钛铝的摩尔比为1∶1，工作压强0.2-0.8Pa，反应气体氮气，氮氧体积比0.2∶1，气体量60-150Sccm，溅射厚度0.04-0.15μm；
4)、最后在第二复合吸收膜上溅射抗辐射复合保护膜，钛铝的摩尔比为1∶1，工作压强0.2-0.8Pa，反应气体氧气量30-200Sccm，溅射厚度0.03-0.12μm。
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