[发明专利]磁盘用玻璃衬底的制造方法以及磁盘的制造方法

说明书

本申请为同一申请人于2007年3月15日提交的申请号为200780001226.1(PCT/JP2007/055246)、发明名称为“磁盘用玻璃衬底的制造方法以及磁盘的制造方法”的中国专利申请的分案申请。 

技术领域

本发明涉及构成作为磁盘装置的硬盘驱动器(HDD)等中使用的磁盘的磁盘用玻璃衬底的制造方法以及使用了该磁盘用玻璃衬底的磁盘的制造方法。 

背景技术

如今，信息记录技术尤其是磁记录技术伴随所谓的IT产业的发达而要求飞跃性的技术革新。而且，在作为计算机用存储器等而使用的磁盘装置即硬盘驱动器(HDD)上所搭载的磁盘与磁带或软盘等其他磁记录介质不同，其信息记录密度的迅速增大化继续进行。 

这种磁盘是在铝系合金衬底或玻璃衬底等的衬底上形成磁性层的膜等而构成。然后，在硬盘驱动器中，一边使磁头在高速旋转的磁盘上浮动飞行，一边通过该磁头将信息信号作为磁化图案记录在磁性层上，再进行再生。 

近些年，在这种磁盘中，信息记录密度已达到超过每1平方英寸40G比特，进而，超过每1平方英寸100G比特的超高记录密度也将要被实现。能够实现这样高的信息记录密度的近些年的磁盘与以往的软盘等磁盘相比较，具有虽然是很小的磁盘面积却能够收纳实用上足够的信息量的特征。 

另外，这种磁盘与其他的信息记录介质相比较，还具有信息的记 录速度及再生速度(应答速度)极其迅速且可以进行信息的随时写入以及读出的特征。 

这种磁盘的种种特征已经得到关注，其结果是，在近些年要求能够搭载在如所谓的移动电话、数码相机、便携信息设备(例如、PDA(personal digital assistant)：个人数字助理)或者汽车导航系统等那样的、壳体远远小于个人计算机装置且要求高应答速度的便携用设备上的小型硬盘驱动器。 

伴随着针对将硬盘驱动器搭载在便携用设备上(所谓“便携式用途”)的要求高涨，作为磁盘用的衬底采用由硬质材料即玻璃构成的玻璃衬底。这是因为玻璃衬底与由软质材料即金属构成的衬底相比较，具有高强度和高刚性。 

另外，因为在玻璃衬底中可获得平滑的表面，所以可以防止磁头碰撞以及热不均匀(thermal asperity)这样的问题，同时还可以使一边在磁盘上浮动飞行一边进行记录再生的磁头的浮起量变得狭小(降低飞行高度)，能够得到高信息记录密度的磁盘。 

但是，玻璃衬底还具有作为脆性材料的负面特性。因此，历来就提出了各种各样的玻璃衬底的增强方法。例如，在专利文献1中记载有以下的化学增强处理：通过将玻璃衬底以规定时间浸渍于在化学增强槽中的加热到300℃左右的硝酸钠(NaNO₃)或硝酸钾(KNO₃)等的硝酸盐熔液中，将玻璃衬底中的表层部的锂离子(Li⁺)置换成钠离子(Na⁺)或钾离子(K⁺)，或者，将玻璃衬底中的表层部的钠离子(Na⁺)置换成钾离子(K⁺)，在两面的表层部形成压缩应力层，并在这些压缩应力层之间设置拉伸应力层。 

另外，在专利文献2中记载有以下的方法：在化学增强处理中使用的硝酸盐熔液中混入微量的阳离子杂质，进行调整以使硝酸盐的完全凝固点小于等于130℃，在化学增强处理后的冷却时使硝酸盐具有流动性，抑制玻璃衬底的翘曲同时进行化学增强处理。 

专利文献1：日本专利公开特开2002-121051公报 

专利文献2：日本专利公开特开2001-192239公报 

发明内容

(发明要解决的问题) 

然而，已知在上述的化学增强工序中无法充分抑制在化学增强工序后产生的玻璃衬底上的微小波纹的情况。另外，已知这种微小波纹在化学增强工序后的玻璃衬底的冷却时产生。 

而且，近年来伴随着磁盘中的信息记录的高密度化，不断降低磁头的飞行高度，要求具有比以往更加平滑的表面的玻璃衬底，这种微小波纹就成为问题。 

因此，本发明就是鉴于上述那样的情况而完成的，其目的在于提供一种磁盘用玻璃衬底的制造方法，该方法具有使玻璃衬底接触加热了的化学增强盐熔液并对玻璃衬底的表层进行化学增强的化学增强工序，该方法能够制造这样的磁盘用玻璃衬底，它可以抑制在化学增强工序后的玻璃衬底冷却时产生的微小波纹，并防止磁头碰撞以及热不均匀这样的问题，同时还可谋求磁头的低飞行高度化，并可实现高密度信息记录，特别是能够构成适合用于便携信息设备用的小型硬盘驱动器的磁盘。