[发明专利]化学增幅型含硅I-线紫外负性光刻胶及其成膜树脂

权利要求书

1.一种成膜树脂，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，于溶剂中进行共聚合反应制备而成，其特征在于：所述成膜树脂的分子量为2000～100000，分子量分布为1.4～2.8；所述共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：

取代苯乙烯                      40%～90%；

含硅丙烯酸酯类偶联剂            0.5%～40%；

所述取代苯乙烯是符合化学通式（                                               ）的至少一种化合物：

                  （）；

式中，R₁是H、乙酰基或者丙酰基；m=1或2；

所述含硅丙烯酸酯类偶联剂的化学通式如（）式所示：

        （）；

式中：R₂是H、CH₃或CF₃；R₃是碳原子数为1～20的烷基；R₄是碳原子数为1～20的烷基；R₅是OH、碳原子数为1～20的烷基或碳原子数为1～20的烷氧基；n=1～8。

2.根据权利要求1所述的成膜树脂，其特征在于：所述共聚单体中还包含质量百分含量为1%～40%的符合化学通式（）和（）的化合物中的至少一种：

              （）；

式中：R₆和R₇各自独立地是H、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为1～20的烷氧基、或，R₈是H或碳原子数为1～10的烷基，R₉是H或碳原子数为1～10的烷基，o=0～8；

            （）

式中：R₁₀是H或CH₃；R₁₁是H、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～8的环烷基、碳原子数为1～20的羟基烷基、甘油基、乙氧乙基、、、、或者，R₁₂是H或碳原子数为1～10的烷基，R₁₃是H或碳原子数为1～10的烷基，q=0～8。

3.根据权利要求1所述的成膜树脂，其特征在于：所述取代苯乙烯是对羟基苯乙烯、对乙酰氧基苯乙烯、间羟基苯乙烯、间乙酰氧基苯乙烯、3,4-二羟基苯乙烯、3,4-二乙酰氧基苯乙烯、3,5-二羟基苯乙烯或3,5-二乙酰氧基苯乙烯。

4.根据权利要求2所述的成膜树脂，其特征在于：所述符合化学通式（）的化合物有下列种类：苯乙烯、对叔丁基苯乙烯、对叔戊基苯乙烯、对乙氧基苯乙烯、3，5-二甲氧基苯乙烯、3，5-二乙氧基苯乙烯、对苯氧基苯乙烯、对2-羟乙氧基苯乙烯。

5.根据权利要求2所述的成膜树脂，其特征在于：所述符合化学通式（）的化合物有下列种类：甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸环戊酯、丙烯酸环戊酯、甲基丙烯酸环己酯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸环氧丙酯、丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸甘油酯、丙烯酸甘油酯、甲基丙烯酸胆甾醇酯、丙烯酸胆甾醇酯、甲基丙烯酸乙氧乙基酯、丙烯酸乙氧乙基酯、甲基丙烯酸β-丁内酯、丙烯酸β-丁内酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苄酯。

6.一种化学增幅型含硅I-线紫外负性光刻胶，其特征在于：主要由以下重量份的材料经混合后制成：

成膜树脂         10～30份重量；

光致酸           0.5～6份重量；

交联剂           0.5～10份重量；

溶剂             70～90份重量；

所述成膜树脂如权利要求1～5中任一权利要求所述；

所述光致酸是符合结构式（）和通式（）、（）、（）、（）、（）、（）的化合物中的至少一种：

         （）

      （）

式中，x=0～12；

      （）

式中，y=0～12；

            （）

式中，R₁₄为-C₃H₇、-C₈H₁₇、或者；

           （）

式中，R₁₅为-CF₃、-C₄F₉或者；

       （）

式中，R₁₆为-CF₃、-C₆F₅或者；

           （）

式中，R₁₄为、、或者；

所述交联剂是下列结构式表示的化合物之一：

、、、、、、；

所述溶剂是丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯、二缩乙二醇、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮。