[发明专利]制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉

权利要求书

1. 制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺，该工艺采用气相沉积炉，原料气体为N_２、NH_３和BCl_３的混合气体，炉温为1800~2000℃，保温14~26h，其特征在于：所述气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口，有1~36只产品模具在炉内同时进行公转、自转。

2.按照权利要求1所述化学气相沉积工艺，其特征在于：模具在炉内的公转速度为1~10圈/分钟。

3.按照权利要求1所述化学气相沉积工艺，其特征在于：进行气相沉积过程中通入的气体及其摩尔比为：N_２：NH_３：BCl_３＝50~10：10~1：5~0.5。

4.按照权利要求1所述化学气相沉积工艺，其特征在于：在进行气相沉积过程中，气相沉积炉的炉内压强为1~4托。

5.按照权利要求1所述化学气相沉积工艺，其特征在于：在通入气体前气相沉积炉的炉内真空度为10^-3托，炉温为1800~2000℃。

6.一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、发热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于：在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具。

7.按照权利要求6所述气相沉积炉，其特征在于：所述旋转机构在炉体内的上端或下端。

8.按照权利要求6所述气相沉积炉，其特征在于：进气口为三同心圆进气口。

9.按照权利要求8所述气相沉积炉，其特征在于：三同心圆进气口为弧形、半圆形或长方形的进气模式。