[发明专利]薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法无效
| 申请号： | 201010553829.6 | 申请日： | 2010-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102078854A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 贺成明;郑兴科;施翔尹;李为钧;廖炳杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05D7/00;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 干燥 方法 显示 面板 | ||
1.一种薄膜的干燥方法，所述薄膜包括液态溶剂，其特征在于：所述方法包括如下步骤：
形成所述薄膜于基板上；
置放所述基板于真空腔室内；以及
降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化。
2.一种配向膜的干燥方法，所述配向膜包括液态溶剂，其特征在于：所述方法包括如下步骤：
形成所述配向膜于基板上；
置放所述基板于真空腔室内；以及
降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述配向膜的所述液态溶剂气化。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述真空腔室内的压力是被降低至预设真空压力，使得所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：所述预设真空压力是大于等于13帕且小于等于53帕。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述预设真空压力是大于等于26帕且小于等于53帕。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述真空腔室的温度为大于等于22℃且小于等于27℃。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括如下步骤：在所述液态溶剂气化预定时间之后，在常压下加热所述配向膜。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在加热所述配向膜的过程中，加热温度为大于等于80℃且小于等于100℃。
9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于：还包括如下步骤：
在加热所述配向膜后，对所述配向膜进行高温加热，其中所述高温加热的温度是大于等于220℃且小于等于230℃。
10.一种显示装置的制造方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：
形成第一配向膜于第一基板上，其中所述第一配向膜包括液态溶剂；
形成第二配向膜于第二基板上，其中所述第二配向膜包括所述液态溶剂；
置放所述第一基板及/或所述第二基板于真空腔室内；
降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述第一配向膜及/或第二配向膜的所述液态溶剂气化；以及
在所述液态溶剂气化后，形成液晶层于所述第一配向膜与所述第二配向膜之间。
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