[发明专利]一种电子软标签的蚀刻设备无效
申请号: | 201010554209.4 | 申请日: | 2010-11-23 |
公开(公告)号: | CN102094199A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 黄佳佳 | 申请(专利权)人: | 黄佳佳 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;C23F1/02;H01L21/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 201300 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子 标签 蚀刻 设备 | ||
1.一种电子软标签的蚀刻设备,它主要设置在一封闭的具有较大空间蚀刻室(1)内,该蚀刻室(1)的入口和出口分别设置的进料辊(21)和出料辊(22);其特征在于:所述的蚀刻室(1)内横向分布成多个传输蚀刻区间,每个传输蚀刻区间内均设置有一组高低位置不同的送料辊(31、32),这些高低位置不同的送料辊(31、32)使料材在传输蚀刻区间内呈斜向传输;所述的传输蚀刻区间内位于料材传输面上下两侧设置有喷射蚀刻介质的喷头(33)。
2.根据权利要求1所述的电子软标签的蚀刻设备,其特征在于:所述的喷头(33)的喷射方向均垂直于料材的水平传输面。
3.根据权利要求1或2所述的电子软标签的蚀刻设备,其特征在于:所述的每个传输蚀刻区间内均设置一喷头架(30),该喷头架(30)的中轴线与料材的斜向传输路径平行且使料材传输路径从喷头架(30)的中轴位置穿过,该喷头架(30)上下两侧均设置有喷头(33)。
4.根据权利要求3所述的电子软标签的蚀刻设备,其特征在于:所述的相邻传输蚀刻区间内料材的传输路径上下朝向不同,所述的上下朝向不同是指前一个输蚀刻区间内料材的传输路径为由下而上,后一个输蚀刻区间内料材的传输路径为由上而下,或者前一个输蚀刻区间内料材的传输路径为由上而下,后一个输蚀刻区间内料材的传输路径为由下而上,依次交替排列;所述的相邻传输蚀刻区间的交接端公用一个送料辊。
5.根据权利要求1或2所述的电子软标签的蚀刻设备,其特征在于:所述的各个传输蚀刻区间内的高位送料辊和低位送料辊均位于同一高度,所述的蚀刻室(1)内分别设置有高位送料辊驱动轴和低位送料辊驱动轴,所述的驱动轴与送料辊之间通过伞形齿轮结构或涡轮蜗杆结构连接驱动。
6.根据权利要求1或2所述的电子软标签的蚀刻设备,其特征在于:所述的蚀刻室(1)的各传输蚀刻区间上端均设置有排气支管(41),所述的排气支管(41)均连接到一排气管(4)上。
7.根据权利要求1或2所述的电子软标签的蚀刻设备,其特征在于:所述的蚀刻室(1)出口外进一步连接浸泳装置(5)、冲洗装置(6)、灯光检查装置(7)、热风烘干装置(8)。
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