[发明专利]清洗机圆片保护装置无效
申请号: | 201010554253.5 | 申请日: | 2010-11-23 |
公开(公告)号: | CN102059225A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 陈建斌;陈斌 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/00 | 分类号: | B08B3/00 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 机圆片 保护装置 | ||
【权利要求书】:
1. 一种清洗机圆片保护装置,其特征是:包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座,固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座,且活动座的上端位于圆片边缘的上方,活动座的下端悬在销轴的下方。
2. 根据权利要求1所述的清洗机圆片保护装置,其特征是:活动座的上端呈抵压圆片的弯钩形式。
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