[发明专利]一种柔性光阴极及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性光阴极，其特征在于：包括柔性耐高温薄膜(1)、碳纳米管薄膜导电层(2)、金属导电层(3)，所述的碳纳米管薄膜导电层(2)粘接在柔性耐高温薄膜(1)上，所述的金属导电层(3)附着在碳纳米管薄膜导电层(2)上。

2.按照权利要求1所述的光阴极，其特征在于：所述的柔性耐高温薄膜(1)所采用的材料为聚碳酸酯。

3.按照权利要求1或2所述的光阴极，其特征在于：所述的碳纳米管薄膜导电层(2)与柔性耐高温薄膜(1)粘结时所采用的粘结剂为硅胶。

4.按照权利要求3所述的光阴极，其特征在于：金属导电层(3)为金属铝导电层，金属铝导电层蒸镀在碳纳米管薄膜导电层(2)上。

5.一种权利要求1所述的柔性光阴极的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

第一步骤：选取柔性耐高温薄膜(1)，将其依次用蒸馏水、丙酮、无水乙醇、蒸馏水等溶液超声清洗，在每种溶液中超声清洗的时间为15分钟；

第二步骤：选取用化学气相沉积法或湿法工艺制取的碳纳米管薄膜导电层(2)，在透光率为85％的条件下，该薄膜方块的电阻小于100Ω；

第三步骤：利用硅胶将第二步骤所得的碳纳米管薄膜导电层(2)及经第一步骤处理的柔性耐高温薄膜(1)粘结在一起；

第四步骤：将附有碳纳米管薄膜导电层(2)的柔性耐高温薄膜(1)作为基底，制备金属导电层(3)；采用金属铝材料，用真空蒸镀的方式将铝导电层附着在碳纳米管薄膜导电层(2)上。