[发明专利]化学法制备色分离光栅的方法

权利要求书

1.一种化学法制备色分离光栅的方法，其特征在于：其包括以下步骤：

1)将锆酸丁酯、乙酰丙酮、苯甲酰丙酮和去离子水分别溶于无水乙醇，具体是：乙酰丙酮和苯甲酰丙酮溶液混合均匀后，缓慢地滴入锆酸丁酯溶液，使其充分反应后，将去离子水与无水乙醇混合液缓慢滴入，搅拌均匀，充分反应后，在溶胶中加入聚乙烯吡咯烷酮，得到光敏溶胶；

2)以孔径为0.15μm的混合纤维素酯微孔滤膜对光敏溶胶进行过滤，去除反应中产生的较大颗粒和沉淀；

3)将聚乙烯薄膜覆盖于石英玻璃基底的背面，密封后将石英玻璃基底浸入光敏溶胶并提拉成膜，然后去除背面的聚乙烯薄膜，得到单面光敏凝胶薄膜。

4)用第一掩模版与光敏凝胶薄膜紧密接触，置于高压汞灯下曝光，薄膜在无水乙醇中显影，形成占空比为2/3的单台阶光栅，以此为基底重复步骤3)，在光栅表面形成光敏凝胶薄膜，用第二掩模版覆盖薄膜，并与基底上光栅结构对准，再曝光，得到色分离光栅图形。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：其还包括步骤5)：将形成图形的色分离光栅置于高压汞灯或低压汞灯下进行紫外处理1-24小时，去除光栅图形中残留的有机物。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤1)中，锆酸丁酯∶乙酰丙酮∶苯甲酰丙酮∶去离子水∶无水乙醇∶聚乙烯吡咯烷酮的摩尔比为1∶(0～1)∶(0～1)∶(2.5-3.5)∶(20-25)∶(0-0.3)。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤4)中曝光的时间为20-30min。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述第一掩模版与第二掩模版的周期相同，第一掩模版的占空比为1/3，第二掩模版的占空比为2/3。