[发明专利]一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法有效
| 申请号： | 201010558392.5 | 申请日： | 2010-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN102181937A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李杨;李建飞;贺建华;杨冬生 | 申请（专利权）人： | 江阴浚鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;C23F1/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李玉秋;冯琼 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制作 太阳能 多晶 硅绒面 腐蚀 激活 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法，其特征在于，包括：
将多晶硅碎片置于带有开口的容纳袋中；
在配制腐蚀液的过程中，将所述容纳袋置于腐蚀液原液中对腐蚀液进行激活。
2.根据权利要求1所述的激活方法，其特征在于，所述容纳袋为防酸碱布缝制而成。
3.根据权利要求2所述的激活方法，其特征在于，所述容纳袋的开口的大小可以调整。
4.根据权利要求3所述的激活方法，其特征在于，所述容纳大袋的开口边缘周围设置有拉绳，所述容纳袋开口的大小通过所述拉绳调整。
5.根据权利要求4所述的激活方法，其特征在于，所述拉绳为弹性拉绳。
6.根据权利要求1所述的激活方法，其特征在于，所述容纳袋的开口方向与腐蚀液的流动方向相反。
7.根据权利要求1至6任一项所述的激活方法，其特征在于，所述腐蚀液包括HF、HNO3和水。
8.根据权利要求7所述的激活方法，其特征在于，所述腐蚀液中HNO3∶HF按照体积比为10∶1～2∶1。
9.根据权利要求8所述的激活方法，其特征在于，所述配制腐蚀液是在多晶硅制绒设备中进行的。
10.一种制作太阳能多晶硅绒面的方法，其特征在于，包括：
将多晶硅在权利要求1至9任一项所述的激活后的腐蚀液中进行刻蚀，刻蚀温度为6℃～25℃，刻蚀时间为4分钟～8分钟。
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