[发明专利]一种高精密大行程三轴快速刀具伺服装置

权利要求书

1.一种高精密大行程三轴快速刀具伺服装置，其特征在于：右挡板、前挡板、后挡板、左挡板下边分别与底座固定连接、顶部分别与上盖固定连接，铰链支架的底部固定在底座上，上部为运动部分，中间为带有铰链的四个连杆，X向音圈电机的定子固定在右挡板上，动子固定在铰链支架的右侧上部，Z向音圈电机的定子固定在后挡板上，动子固定在铰链支架的后侧上部；压电叠堆座固定在铰链支架的前侧上部的中间位置，中间槽内为压电叠堆执行器，利用预紧螺钉调节楔形块实现压电叠堆的预紧，压电叠堆执行器的活动端与Y向位移微调机构前端接触，Y向位移微调机构的后端固定在铰链支架的上部；金刚石刀具与Y向位移微调机构前端固定连接，电容传感器通过电容传感器安装座与上盖固定连接，Z向直线光栅尺和X向直线光栅尺分别沿Z向和X向贴附在铰链支架的运动部分，Z向读数头固定在左挡板上，X向读数头固定在支架上。

2.根据权利要求1所述的高精密大行程三轴快速刀具伺服装置，其特征在于：金刚石刀具的X向位移和向位移分别采用X向直线光栅尺和Z向直线光栅尺检测，为X向音圈电机和Z向音圈电机的闭环控制分别提供反馈信号。

3.根据权利要求1所述的高精密大行程三轴快速刀具伺服装置，其特征在于：金刚石刀具的Y向附加位移采用电容传感器检测，为微调机构的闭环控制提供反馈信号。