[发明专利]表面检查装置和表面检查头装置

权利要求书

1.一种表面检查装置，该表面检查装置包括：发射检查光的光源；插入到作为被检查物的圆筒体内部的检查头，所述检查头在绕所述圆筒体的轴旋转并沿轴向移动的同时，将从所述光源发射的检查光投射到所述圆筒体的内周面并接收由所述圆筒体的内周面反射的光；以及光电转换装置，其根据所述检查头接收的反射光的强度输出信号，并且所述表面检查装置基于所述光电转换装置输出的信号生成对应于所述内周面的二维图像，所述表面检查装置还包括：

信号处理装置，其从所述光电转换装置输出的信号中提取与因所述轴与所述圆柱体的中心线之间的偏差所引起的所述反射光的强度波动相对应的频率分量；以及

光源控制装置，其控制所述光源，使得从所述光源发射的检查光的强度根据预定基准值与由所述信号处理装置提取的所述频率分量之间的差而变化。

2.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述光源控制装置控制所述光源，使得从所述光源发射的检查光的强度在所述基准值与所述频率分量之间的差较大时比在该差较小时更大。

3.根据权利要求1或2所述的表面检查装置，其中，所述信号处理装置被配置成使得它提取在包括对应于所述波动的频率分量而不包括对应于所述内周面的缺陷的频率分量的预定范围内的频率分量。

4.一种表面检查头装置，该表面检查头装置包括：头筒，在其外周形成有开口；保护窗部件，其设置在所述开口中；以及光路变更装置，其设置在所述头筒内部，该光路变更装置改变沿轴向进入所述头筒的检查光的光路，将它引向所述保护窗部件，并改变由被检查物表面反射的所述检查光的光路，将它沿着所述头筒的轴向引向所述检查光的相反方向；其中

所述保护窗部件的前表面和后表面中的至少一个的法线方向相对于所述检查光入射到所述保护窗部件的方向倾斜。

5.根据权利要求4所述的表面检查头装置，其中，所述保护窗部件安装在所述头筒的端部区域；并且所述保护窗部件的前表面和后表面中的至少一个的法线方向随着沿半径方向朝所述头筒的外侧延伸而朝向所述头筒的端侧倾斜。

6.根据权利要求5所述的表面检查头装置，其中，所述保护窗部件的前表面和后表面的法线方向相对于所述检查光入射到所述保护窗部件的方向以相等的角度倾斜。