[发明专利]等离子刻蚀机硅片定压施压夹具

说明书

技术领域：

本发明涉及一种太阳能电池等离子刻蚀机的硅片加压装置，属于太阳能电池等离子刻蚀机的一种夹具。

背景技术：

太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散工序中形成的硅边缘P-N结去除，否则，将导致电池正负极之间并联电阻过小，漏电流过大，影响电池的输出特性。在大规模生产中，一般用CF4在高频电场中电离，产物与Si反应生成SiF4的方式来去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片层叠压紧，否则，硅表面的扩散层也将会部分去除，从而减小太阳能电池的有效面积，使其短路电流降低。

在太阳能电池等离子刻蚀机中，现有的太阳能电池等离子刻蚀夹具，其加压装置存在不能精确加压的严重问题，加在整叠硅片两侧的压力大小全凭个人经验，既不能准确控制整叠硅片的压力，也不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控制产品质量。

发明内容：

为了解决上述问题，本发明提供了一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具。它可精确控制整叠硅片的施加压力大小，制作的太阳能电池边缘几乎看不到刻蚀环的影响，色差非常小。

本发明所采用的技术方案是：

本发明所述的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是：包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。

进一步，在压板上设有把手。

由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间，而压板套装在两根立柱螺杆上，并由两只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定扭矩收紧，从而实现压板对整叠硅片的定压施压。这样就能精确控制整叠硅片的压力，并可减少硅片四周受力的不均，使产品性能一致，刻蚀效果好。

附图说明：

图1为等离子刻蚀夹具加压装置结构示意图；

图中：1-夹具体；2-立柱螺杆；3-复位弹簧；4-压板；5-收紧螺母；6-数控扭力扳手；41-把手。

具体实施方式：

下面结合附图说明本发明的具体实施方式：

所述的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，它由夹具体1、立柱螺杆2、复位弹簧3、压板4、收紧螺母5和数控扭力扳手6组成，两根立柱螺杆2的下端固定在夹具体1上，在两根立柱螺杆2的上段设有螺纹，复位弹簧3套装在立柱螺杆2的上段，在压板4上设有把手41和与两根立柱螺杆2相对应的耳座，压板4通过两耳座套装在两根立柱螺杆2上，并由收紧螺母5收紧，收紧螺母5由数控扭力扳手6定扭矩收紧。