[发明专利]一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法

权利要求书

1.一种氮化镓表面腐蚀液，由氢氧化钾和碳酸钾组成，其特征在于：所述的腐蚀液配制步骤如下：

1)配制浓度为1±0.1摩尔/升的氢氧化钾溶液；

2)将配制好的氢氧化钾溶液加热至35摄氏度；

3)将碳酸钾溶入加热后的氢氧化钾溶液，使碳酸钾在溶液中的的浓度达到2±0.2摩尔/升。

2.一种采用如权利要求1所述腐蚀液的氮化镓表面腐蚀方法，其特征在于包括以下步骤：

1)将配制好的氮化镓腐蚀液加热到50℃；

2)将氮化镓材料浸没在腐蚀液中，如果需要腐蚀0.3微米深度，则在1分钟后取出；

3)氮化镓材料取出后立刻在25℃去离子水中清洗3次，去除表面的钾离子和碳酸根离子，终止腐蚀作用；

4)高纯氮气吹干，测试腐蚀深度，保存在干燥箱中。