[发明专利]一种扫描标准具

说明书

技术领域

本发明涉及光学领域，特别是涉及一种扫描标注具。 

背景技术

在光通讯领域，经常要使用到结构简单、可扫描式的标准具。附图1是常见反射式 MEMS（Micro Electro Mechanical System）标准具，由一部分反射镜和一MEMS组成，部分反射镜和MEMS分别作为标准具的一个腔片，反射式MEMS标准具仅能制作可调G-T标准具，功能受到很大限制。 

发明内容

本发明的目的在于针对现有反射式标准具仅能制作可调G-T标准具，功能受到很大限制的技术问题，提供一种扫描标准具，达到扩展反射式MEMS在扫描标准具上应用范围的目的。

为达到上述目的，本发明所提出的技术方案为：一种扫描标准具，包括两腔片101、102，一MEMS103，其特征在于，两个腔片101、102放置于MEMS103同一侧，且MEMS103与两腔片101、102间的距离可以调节，两腔片101、102间镀有相同或不同的膜。移动MEMS103以改变两个腔片101、102之间的空气隙大小，从而可以实现一种连续可调的透射式标准具。

进一步，上述技术方案提到的扫描标准具，可以用来制作可调窄线宽激光器，一种可调窄线宽激光器，除包括上述的扫描标准具外，还包括一部分反射镜106，一激光二极管或固体激光器107，激光二极管或固体激光器107发出的光谱线宽较宽，激光二极管或固体激光器107发出光谱经腔片101进入扫描表准具，透射出腔片102的光通过部分反射镜106经扫描标准具反射回激光二极管或固体激光器107。

附图说明

图1 为反射式MEMS可调标准具结构示意图；

图2 为本发明扫描标准具结构示意图；

图3为可调窄线宽激光器结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步说明。

101.腔片、102.腔片、103.MEMS、104.入射光束、105.透射光束、106. 部分反射镜、107. 激光二极管或固体激光器。

如图2所示，一种扫描标准具，包括腔片101、腔片102、及MEMS103，腔片101、腔片102为标准具的两个腔片，位于MEMS103的同一侧，腔片101和腔片102镀有相同或者不同的膜层，且MEMS103与两腔片101、102间的距离可以调节

当光束104以一定的角度入射至腔片101，部分光a透过腔片101，部分光b反射；透过腔片101的光a经过MEMS 103反射至腔片102，经过腔片102部分光c透射出去，部分光d反射；部分光d经过MEMS反射回腔片101上，部分光e透射，部分光f反射至MEMS再反射到腔片102上；部分光g透射，部分光h反射；以此类推，c，g……等光束经过腔片102透射出去，发生干涉，形成标准具透射光束；b，e……等光束经过腔片101反射回去，发生干涉，形成标准具反射光束。另外MEMS103可以上下移动，相当于改变标准具的空气隙大小，这样就做成一个可扫描式的透射标准具。

图3是利用此扫描标准具制作的可调窄线宽激光器，腔片101、MEMS103、腔片102构成扫描具，激光二极管或固体激光器107发出的光谱线宽较宽，且激光器可以为固体激光器。激光二极管或固体激光器107发出的光谱通过扫描标准具过滤后，透射光谱经由部分反射镜106并经扫描标准具反射回激光二极管或固体激光器107，反射回的光谱波段在激光二极管107谐振腔内谐振放大，其他光谱范围波段同时被抑制。这样就可以实现激光二极管或固体激光器107原来较宽的光谱波段由宽变窄。另外由于MEMS可调，较窄线宽的中心波长也可以根据需要发生改变。

尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本发明，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本发明的精神和范围内，在形式上和细节上可以对本发明做出各种变化，均为本发明的保护范围。