[发明专利]经表面处理的模具和制造经表面处理的模具的方法

权利要求书

1.一种经表面处理的模具(10)，包括：

模具(2)；

金属层(4)，所述金属层设置在所述模具的表面上并且包含从由镍、铬、钨和黄铜构成的组中选出的至少一种金属；和

碳膜(8)，所述碳膜设置在所述金属层的表面上，

其中，所述金属层包含碳，并且所述金属层中的碳浓度在所述金属层与所述碳膜的边界和所述金属层的中心之间比在所述金属层与所述模具的边界和所述金属层的中心之间高。

2.根据权利要求1所述的经表面处理的模具，其中，所述碳膜是纤维状的。

3.根据权利要求1所述的经表面处理的模具，其中，所述碳膜由碳纳米线圈、碳纳米管和碳纳米丝中的至少一种形成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的经表面处理的模具，其中，所述金属层是镀层。

5.根据权利要求4所述的经表面处理的模具，其中，所述镀层是镀镍层。

6.根根据权利要求1至3中任一项所述的经表面处理的模具，其中，所述金属层具有2μm以上且10μm以下的厚度。

7.一种制造经表面处理的模具(10)的方法，包括：

在模具的表面上形成非晶态金属层(4)，所述非晶态金属层包含从由镍、铬、钨和黄铜构成的组中选出的至少一种金属；和

在以410℃至510℃的温度加热所述金属层的同时在所述金属层上形成碳膜(8)。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，通过无电解镀镍形成所述非晶态金属层。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，在给所述金属层的表面上形成所述碳膜的时期的至少一部分期间供给烃气和稀释气的气体混合物。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的方法，其中，在给所述金属层的表面上形成所述碳膜的时期的至少一部分期间供给乙炔和氨的气体混合物。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，通过供给乙炔和氨的气体混合物并且随后仅供给氨来形成所述金属层的表面上的所述碳膜。