[发明专利]柔性薄膜太阳能光电池及其大规模连续自动化生产方法

权利要求书

1.一种柔性薄膜太阳能光电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳能光电池的膜层结构是从上到下依次为：减反射层、透明上电极层、隔离层、窗口层、保护层、吸收层、反射层、金属背电极层、绝緣层、基材层和助焊层，所述减反射层材料为氟化镁，所述透明上电极层材料为氧化锌铝，所述隔离层材料为本征氧化锌，所述窗口层材料为硫化锌，所述吸收层材料为铜铟镓硒或铜铟铝硫，所述反射层材料为铝，所述金属背电极层材料为铜钼钠合金，所述绝缘层材料为氧化钛，所述基材层材料为不锈钢箔、铜箔、铝箔、钛箔或者聚酰亚胺薄膜，所述助焊层材料为饧。

2.一种制造权利要求1所述旳柔性薄膜太阳能光电池的大规模连续自动化生产方法，其特征在于：所述制造方法包括以下步骤：

A、将所述基材经辉光放电、等离子净化后，在其表面通过交流中频磁控溅射法形成所述绝缘层；

B、在所述绝缘层上用铜-钼-氟化钠旋转靶通过直流溅射法形成所述金属背电极层；

C、在所述金属背电极上，用金属铝靶采用直流磁控溅射形成所述的反射层；

D、在所述金属反射层上，用铜铟镓硒四元合金靶直流磁控溅射法形成所述吸收层，所述吸收层为P型半导体；

E、将D步骤中所得到的材料在350～550℃下进行固态光催化硒化和重结晶，同时用氩气带入硫蒸气，在其表面形成铜铟镓硒硫薄膜层，其表面形成缓冲保护层，在硒化硫化后的吸收层上通过脉冲磁控溅射法形成硫化锌膜层，得到所述窗口层，所述窗口层为N型半导体；

F、在所述窗口层上通过交流中频磁控溅射法形成所述隔离层，所述隔离层为纳米级本征氧化锌隔离层；

G、在所述隔离层上用含2％铝的氧化锌靶材通过交流磁控溅射法形成所述透明上电极层；

H、将G步骤得到的大面积产品进行横向切割，划分成内部串联的多个电池单元，再用氟化镁靶材，通过交流中频磁控溅射法形成所述减反射层。

3.根椐权利要求1所述旳柔性薄膜太阳能光电池，其特征在于：所述背电极材料为铜钼钠合金，所述铜钼钠合金包括0.2％氟化钠。

4.根椐权利要求1所述的柔性薄膜太阳能光电池，其特征在于：所述窗口层材料为硫化锌，所述窗口层硫化锌是通过脉冲RF磁控溅射法来制作产生。

5.根据权利要求2所述的柔性薄膜太阳能光电池的大规模连续自动化生产方法，其特征在于：步骤H中所述对大面积产品进行划线切割，是通过将预先制作好的金属格栅放置于所要进行切割的产品表面，所述金属栅格挡住需要划线切割的位置，经过溅射镀膜后在需要切割的位置就自然形成切割线。