[发明专利]往复升降装置

权利要求书

1.一种往复升降装置，适应于安装在具有真空腔的腔体上，其特征在于，所述往复升降装置包括支撑板、安装板、驱动器、调节件及若干一一对应的升降杆和波纹管，所述支撑板位于所述腔体外且与所述腔体的底板平行，所述安装板位于所述支撑板下方并与所述腔体的底板固定连接，所述升降杆的下端均固定在所述支撑板上，所述升降杆的上端均呈密封的伸入所述真空腔内并形成承载工件的支撑面，所述调节件的上端与所述支撑板呈旋转的卡合连接，所述调节件的下端与所述驱动器的输出轴呈套接的螺纹连接，所述驱动器安装在所述安装板上，所述波纹管套接在位于所述腔体外的升降杆外且上端与所述腔体密封连接，下端与所述支撑板密封连接，所述驱动器通过所述调节件驱动所述支撑板做直线往复运动。

2.如权利要求1所述的往复升降装置，其特征在于，还包括设置于所述驱动器的输出轴与所述调节件之间的锁定件。

3.如权利要求2所述的往复升降装置，其特征在于，所述调节件的下端开设有调节件内螺纹，所述驱动器的输出轴设置有与所述调节件内螺纹相配合的输出轴外螺纹，所述锁定件呈啮合的套设于所述驱动器的输出轴上并与所述调节件抵触。

4.如权利要求2所述的往复升降装置，其特征在于，所述调节件的下端开设有调节件外螺纹，所述驱动器的输出轴设置有与所述调节件外螺纹相配合的输出轴内螺纹，所述锁定件呈啮合的套设于所述调节件上并与所述驱动器的输出轴抵触。

5.如权利要求1所述的往复升降装置，其特征在于，所述调节件的上端设置有弧形的凸头，所述支撑板对应的安装有固定卡座，所述固定卡座开设有供所述凸头容置并卡合的卡合槽。

6.如权利要求1所述的往复升降装置，其特征在于，还包括若干个导向组件，所述导向组件以所述驱动器的输出轴为中心呈对称的设置，所述导向组件包括相互配合滑动的导向套及导向杆，所述导向套安装在所述支撑板上，所述导向杆的上端固定在所述腔体的底板上，所述导向杆的下端穿过所述导向套并与所述安装板固定。

7.如权利要求1所述的往复升降装置，其特征在于，所述升降杆的上端还设置有缓冲垫或者镀膜层。

8.如权利要求1所述的往复升降装置，其特征在于，所述升降杆的上端均位于同一平面中。