[发明专利]直线往复传动装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体行业中对基板进行运输的传动装置，更具体地涉及一种能使基板作直线往复运动的直线往复传动装置。

背景技术

随着有机发光二极管(Organic Light Emitted Diode，以下简称OLED)技术的不断成熟，有机发光二极管显示器越来越多的进入市场被广大消费者青睐，有机发光二极管(OLED)是一种薄膜多层器件，由碳分子或聚合物组成。它们的构成是：(1)金属箔、薄膜或平板(刚性或弹性)平台；(2)电极层；(3)活性物质层；(4)反电极层；(5)保护层。至少一个电极必须是透明的。

现今，由于有机发光二极管显示器具有高亮度、高反应速度、直流低电压驱动、重量轻、无视角差及不需背光源等诸多优点，使其越来越受到人们的重视，成为下一代显示器面板的发展重点，将很快成为平板显示器市场的主流。

通常，通过在诸如玻璃基板等基板上进行各种重复的单元处理来生产半导体存储装置有机发光二极管(OLED)显示器等平板显示器。

例如，在半导体基板或玻璃基板上进行诸如薄膜处理、给薄膜进行图案化处理以及清洁处理等各种单元处理，从而在基板上形成具有各种电气和光学特征的电路图形。通常在处于清洁室内的各种加工设备以一些特殊的处理方法进行各个单元处理。

具体的，通过在半导体基板上进行多次刻蚀或清洁以及干燥处理等情况，将处理液供给到基板上。例如，在清洁处理中将各种清洁溶液供给到基板上，以将诸如玻璃基板的半导体基板上的杂质去除。

在如此频繁刻蚀或清洗或干燥等的场合，会涉及可以频发直线往返运动的装置。此装置可能对刻蚀或清洗或干燥的效果启着至关重要的作用。现有技术中的用于此频繁场合的装置，主要存在以下问题：运动复杂、维护复杂繁琐且成本高昂。

因此亟需一种结构简单、维护方便及成本低廉的能够广泛应用于半导体行业内的直线往复传动装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、维护方便及成本低廉的能够广泛应用于半导体行业内的直线往复传动装置。

为了实现上述目的，本发明提供一种直线往复传动装置，其包括主体结构及直线往返机构，所述主体结构包括固定板、电机安装板及电机安装支撑轴，所述电机安装支撑轴的一端与所述固定板连接，所述电机安装支撑轴的另一端与所述电机安装板固定连接，所述固定板与所述电机安装板相互平行；所述直线往返机构包括电机、偏心轮、旋转轴、移动座及移动轴，所述移动座的下表面与所述固定板呈直线滑动连接，所述移动座的上表面开设有滚动槽，所述移动轴呈凸伸的安装于所述移动座上并与所述固定板平行，所述电机安装在所述电机安装板上，所述电机的输出轴与所述偏心轮连接，所述旋转轴的上端与所述偏心轮连接，所述旋转轴的下端伸入所述滚动槽内，所述电机驱动所述偏心轮转动，所述偏心轮的转动通过所述旋转轴带动所述移动座在所述固定板上作直线往复运动，所述移动座带动所述移动轴作直线往复运动。。

较佳地，所述固定板上还固定安装有轨道板，所述轨道板的下表面固定于所述固定板上，所述轨道板的上表面至少开设有两条滑槽，所述滑槽相互平行，所述移动座的下表面对应所述滑槽枢接有第一轴承，所述第一轴承的下端呈滑动接触的伸入所述滑槽内，所述移动座通过所述第一轴承承载于所述轨道板上。通过所述第一轴承在所述滑槽上滑动，能够很好的限定所述滑动座来回运动的轨迹及减小所述移动座的来回运动的阻力。

较佳地，还包括支撑座，所述支撑座的下端与所述固定板固定连接，所述支撑座的上端与所述轨道板的下表面固定连接。所述支撑座包括与所述固定板平行的支撑板，所述支撑板的两侧分别弯折延伸形成支撑架，所述支撑架与所述固定板固定连接，所述支撑板与所述轨道板的下表面固定连接。设置所述支承座是为了更好的调节所述移动座处于一个理想的水平高度上，所述支撑架能够平稳的支撑所述支撑座进而平稳的支撑所述轨道板及移动座。

较佳地，所述旋转轴的下端还安装有第二轴承，所述第二轴承伸入所述滚动槽内。设置所述第二轴承能够减小所述旋转轴在所述滚动槽旋转内的阻力。