[发明专利]刻蚀方法和系统

权利要求书

1.一种刻蚀方法，其特征在于，包括：

主刻蚀停止后，判断所述主刻蚀停止时是否捕捉到了刻蚀停止点，如果否，则进入过刻蚀步骤继续捕捉刻蚀停止点，所述过刻蚀步骤在达到预设的最大过刻蚀时间时自动停止，以及捕捉到刻蚀停止点之后，再经过了正常的过刻蚀时间时自动停止；

所述过刻蚀停止后，判断所述过刻蚀停止前是否捕捉到了刻蚀停止点，如果是，根据刻蚀厚度和最大主刻蚀时间，得出最大主刻蚀时间的修正值；

采用所述最大主刻蚀时间的修正值进行下一次刻蚀过程。

2.根据权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，还包括：

主刻蚀停止时捕捉到了刻蚀停止点，则按照正常的过刻蚀时间进行过刻蚀。

3.根据权利要求1或2所述的刻蚀方法，其特征在于，还包括：

所述过刻蚀停止前未捕捉到刻蚀停止点，则停止整个刻蚀过程，检查刻蚀设备和/或前层工序。

4.根据权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，所述最大主刻蚀时间的修正值与刻蚀厚度和最大主刻蚀时间的关系式为：

t₂＝t₁*h₂/h₁；

其中，t₂为最大主刻蚀时间的修正值，t₁为最大主刻蚀时间，h₂为捕捉到刻蚀停止点时的刻蚀厚度，h₁为主刻蚀停止时的刻蚀厚度。

5.根据权利要求4所述的刻蚀方法，其特征在于，所述捕捉到刻蚀停止点时的刻蚀厚度为，捕捉到刻蚀停止点时的刻蚀层厚度与刻蚀前的刻蚀层厚度的差值；

所述主刻蚀停止时的刻蚀厚度为，主刻蚀停止时的刻蚀层厚度与刻蚀前的刻蚀层厚度的差值。

6.根据权利要求4所述的刻蚀方法，其特征在于，所述最大主刻蚀时间的修正值为按照此时刻蚀设备的主刻蚀速率，达到刻蚀停止点所需的主刻蚀时间。

7.根据权利要求1-6任一项所述的刻蚀方法，其特征在于，所述刻蚀方法应用于栅介质层和/或金属层的刻蚀过程。

8.一种刻蚀系统，其特征在于，包括：

第一判断单元，用于主刻蚀停止后，判断所述主刻蚀停止时是否捕捉到了刻蚀停止点；

第一控制单元，用于所述主刻蚀停止时未捕捉到刻蚀停止点的情况下，控制刻蚀设备进入过刻蚀继续捕捉刻蚀停止点，所述过刻蚀步骤在达到预设的最大过刻蚀时间时自动停止，以及捕捉到刻蚀停止点之后，再经过了正常的过刻蚀时间时自动停止；

第二判断单元，用于过刻蚀停止后，判断所述过刻蚀停止前是否捕捉到了刻蚀停止点；

计算单元，用于当过刻蚀停止前捕捉到刻蚀停止点的情况下，根据刻蚀厚度和最大主刻蚀时间，得出最大主刻蚀时间的修正值；

第一反馈单元，用于采用所述最大主刻蚀时间的修正值进行下一次刻蚀过程。

9.根据权利要求8所述的刻蚀系统，其特征在于，还包括：

第二控制单元，用于所述主刻蚀停止时捕捉到刻蚀停止点的情况下，控制刻蚀设备按照正常的过刻蚀时间进行过刻蚀；

第二反馈单元，用于所述过刻蚀停止前未捕捉到刻蚀停止点的情况下，停止整个刻蚀过程，检查刻蚀设备和/或前层工序。

10.根据权利要求9所述的刻蚀系统，其特征在于，还包括：

存储单元，用于存储最大主刻蚀时间、最大过刻蚀时间、正常过刻蚀时间和最大主刻蚀时间的修正值中的至少一种数据。