[发明专利]掩膜板吸附结构及掩膜板贴合的方法

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜加工领域，尤其涉及一种用于装载掩膜板的掩膜板吸附结构及掩膜板贴合的方法。

背景技术

随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。

例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-EmittingDiode)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的TFT-LCD显示屏(液晶显示屏)并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的精度要求。OLED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射。

为了使其能够全彩色显示装置，发光层应被图案化。通常发光层图案化是利用精细金属掩膜板(MASK)贴合在导电玻璃基片上，使蒸发源中的有机材料在玻璃基片上沉积为所要求的图案，要能保证使蒸发源中的有机材料在玻璃基片上沉积的图案符合要求，就必须使得掩膜板与玻璃基片的贴合紧密无缝。

将掩膜板紧密无缝的贴合于玻璃基基片上是OLED显示屏件生产过程中涉及的基本加工步骤。现时各制造厂家大多采用磁铁矩阵结构在玻璃基片的另一侧产生磁场，利用掩膜板本身是金属的特性而被该磁场所吸引，从使得掩膜板贴合于玻璃基片，然而，实际生产过程中，采用磁铁矩阵结构实现对掩膜板的吸附的制造工艺复杂，且磁铁矩阵的磁力校核困难，容易产生因磁力不均而使掩膜板贴合不均。

因此，亟待一种结构简单的掩膜板吸附结构，并能有效的实现掩膜板与玻璃基片的均匀无缝贴合。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩膜板吸附结构，该掩膜板吸附结构结构简单并能有效的实现掩膜板与玻璃基片的均匀无缝贴合。

本发明的另一目的在于提供一种利用掩膜板吸附结构对掩膜板进行贴合的方法，该掩膜板贴合方法操作简单且能有效的将实现掩膜板与玻璃基片的均匀无缝贴合。

为实现上述目的，本发明提供一种掩膜板吸附结构，该掩膜板吸附结构包括橡胶磁板、隔板、装载基板玻璃基片以及掩膜板，所述橡胶磁板承载于所述隔板的上表面，所述装载基板的上表面开有容纳槽，所述橡胶磁板以及隔板装载于所述容纳槽内，所述隔板的下表面与所述容纳槽的底壁相抵触，所述掩膜板紧贴所述玻璃基片的下表面，所述玻璃基片的上表面紧贴所述装载基板的下表面。

所述隔板为能导磁的不锈铁。该隔板主要用于固定橡胶磁板。

所述掩膜板为铁镍合金。使掩膜板被橡胶磁板吸附的性能良好。

本发明还提供一种掩膜板吸附结构对掩膜板进行贴合的方法，包括如下步骤：将所述橡胶磁板承载于所述隔板的上表面，并将所述橡胶磁板以及隔板装载于所述容纳槽内，使所述隔板的下表面与所述容纳槽的底壁相抵触；将所述玻璃基片的上表面紧贴在所述装载基板的下表面上；将所述掩膜板紧贴于所述玻璃基片的下表面。

与现有技术相比，本发明掩膜板吸附结构的橡胶磁板磁力分布均匀，能够实现掩膜板与玻璃基片的均匀无缝贴合。

通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。

附图说明

图1为本发明掩膜板吸附结构的立体图。

图2为本发明掩膜板吸附结构的分解图。

具体实施方式