[发明专利]用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法

权利要求书

1.用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法，其特征在于包括以下步骤：

1）光刻：在蓝宝石衬底上采用光刻技术制备光刻图形；

2）蒸镀：采用真空蒸镀设备在蓝宝石衬底上蒸镀金属结构掩膜层；所述金属掩膜层为以金属Ni为间隔层的A/Ni/B/Ni/C/Ni……金属结构层，其中，A、B、C……为Ti、Cr、Al、In、Ag、Au、Sn或Cu中的任意一种，所述金属结构层的层数为1~100层；

3）剥离：将蓝宝石衬底放入去胶剂中，剥离光刻胶。

2.根据权利要求1所述的用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法，其特征在于所述蓝宝石衬底为蓝宝石的c面，或r面，或m面，或a面。

3.根据权利要求1所述的用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法，其特征在于所述步骤1）中，各光刻图形的最小边长或直径为10nm~1000μm。

4.根据权力要求1所述的用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法，其特征在于所述步骤2）中A或B或C或……层的厚度为5nm~50nm，而每层金属Ni层的厚度为5nm~500nm。

5.根据权利要求1所述的用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法，其特征在于所述步骤2）中，所述真空蒸镀设备为电子束蒸发台、磁控溅射机台或热蒸发机台。