[发明专利]MEMS数字地震检波器

权利要求书

1.一种MEMS数字地震检波器，其特征在于由采集地震信号的MEMS地震传感器，用于低噪音电容信号放大和模拟力反馈的弱信号检测及反馈电路，将来自弱信号检测及反馈电路的模拟地震信号转化成数字信号的数字化单元，用于控制数字化单元、通信单元和供电电路的控制电路，用于接收主机系统控制命令和完成采集数据上传的数据通信单元和用于向前述五单元供电的供电电路六大单元组成。

2.根据权利要求1所述MEMS数字地震检波器，其特征在于所述MEMS地震传感器、弱信号检测及反馈电路、数字化单元、控制电路、数据通信单元依次相连，供电电路共连前述五个单元。

3.根据权利要求1所述MEMS数字地震检波器，其特征在于所述MEMS地震传感器采用三层硅片三明治结构，采用八梁支撑、上下对称的双面梁质量块结构单片制作。

4.根据权利要求1所述MEMS数字地震检波器，其特征在于弱信号检测及反馈电路进行低噪音电容信号放大和大动态范围放大，采用模拟力反馈电路提高信噪比。

5.根据权利要求1所述MEMS数字地震检波器，其特征在于所述MEMS地震传感器和弱信号检测及反馈电路直接连接并集成为一体。

6.根据权利要求1所述MEMS数字地震检波器，其特征在于所述数字化单元包括前置放大、Δ-∑调制、数字滤波功能，提供24位的A/D转换精度，可以程序设置0dB、6dB、12dB、18dB、24dB、30dB或36dB的前放增益，并实现4、2、1、0.5、或0.25ms的采样率。

7.根据权利要求1所述MEMS数字地震检波器，其特征在于所述控制电路为嵌入式CPU。

8.根据权利要求1所述MEMS数字地震检波器，其特征在于所述数字化单元采用Cirrus Logic公司的A/D转换套件CS3301A、CS5373A和CS5378或TI公司的AD1282芯片。

9.根据权利要求1或2或3或4或5或6或7或8所述MEMS数字地震检波器，其特征在于整体结构包括上盖、引出电缆、电路板、传感器芯体、外壳和尾锥；所述数字化单元、控制电路、数据通信单元和供电电路集成于所述电路板上；MEMS地震传感器和弱信号检测及反馈电路集成在一个铝合金芯体上成为所述传感器芯体；电路板和传感器芯体由上盖封装在塑料外壳内，传感器芯体引出电极连接到电路板上，电路板由引出电缆引出二对电缆，其中一对负责为电路板供电，另一对作为数据线，尾锥安装在外壳的下端并作为接地部件。

10.根据权利要求9所述MEMS数字地震检波器，其特征在于所述传感器芯体的地震传感器由一组MEMS地震传感器组成单分量数字检波器，或三组MEMS地震传感器正交集成在一个铝合金芯体上组成三分量数字检波器。