[发明专利]一种定向凝固制备太阳能级多晶硅锭的方法无效

专利信息
申请号: 201010570127.9 申请日: 2010-12-02
公开(公告)号: CN102485970A 公开(公告)日: 2012-06-06
发明(设计)人: 柳祝平;黄小卫;王有明 申请(专利权)人: 元亮科技有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 定向 凝固 制备 太阳 能级 多晶 方法
【权利要求书】:

1.一种定向凝固制备太阳能级多晶硅锭的方法,其特征在于,所述方法包括:

提供一种金属发热体作为加热组件;

提供加热坩埚,所述的金属加热组件成筒状,设在所述加热坩埚的四周;以及

使用热交换法或坩埚下降法生长大尺寸多晶硅锭。

2.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,在采用所述金属发热体加热的同时,炉膛内为高真空状态或充入还原性气体。

3.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,在所述加热坩埚的上部和底部各提供一个金属辅加热器,三者分别独立控温。

4.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属发热体的材质包括钨、钼、钽中的一种金属,或者以上几种金属的合金。

5.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属加热组件为方形筒,其每边由多片矩形板条组成,每片板条之间通过金属铆钉由连接板条相连。

6.根据权利要求5所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属加热组件还包括有多个电极,其中部分安装在与水冷电极相连的电极板上,另外的起支撑作用。

7.根据权利要求5所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的组成金属发热体的矩形板条的宽度为20~40mm,板条厚度为5~15mm,板条之间的间距为10~30mm。

8.根据权利要求7所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属发热体的板条宽度为25~35mm,板条厚度为为5~10mm,板条之间的间距为10~20mm。

9.根据权利要求5所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的连接板条的宽度为30~50mm。

10.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属发热体所围成的筒形加热组件与坩埚之间的间隙为10~20mm。

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