[发明专利]一种定向凝固制备太阳能级多晶硅锭的方法无效
申请号: | 201010570127.9 | 申请日: | 2010-12-02 |
公开(公告)号: | CN102485970A | 公开(公告)日: | 2012-06-06 |
发明(设计)人: | 柳祝平;黄小卫;王有明 | 申请(专利权)人: | 元亮科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 定向 凝固 制备 太阳 能级 多晶 方法 | ||
1.一种定向凝固制备太阳能级多晶硅锭的方法,其特征在于,所述方法包括:
提供一种金属发热体作为加热组件;
提供加热坩埚,所述的金属加热组件成筒状,设在所述加热坩埚的四周;以及
使用热交换法或坩埚下降法生长大尺寸多晶硅锭。
2.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,在采用所述金属发热体加热的同时,炉膛内为高真空状态或充入还原性气体。
3.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,在所述加热坩埚的上部和底部各提供一个金属辅加热器,三者分别独立控温。
4.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属发热体的材质包括钨、钼、钽中的一种金属,或者以上几种金属的合金。
5.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属加热组件为方形筒,其每边由多片矩形板条组成,每片板条之间通过金属铆钉由连接板条相连。
6.根据权利要求5所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属加热组件还包括有多个电极,其中部分安装在与水冷电极相连的电极板上,另外的起支撑作用。
7.根据权利要求5所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的组成金属发热体的矩形板条的宽度为20~40mm,板条厚度为5~15mm,板条之间的间距为10~30mm。
8.根据权利要求7所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属发热体的板条宽度为25~35mm,板条厚度为为5~10mm,板条之间的间距为10~20mm。
9.根据权利要求5所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的连接板条的宽度为30~50mm。
10.根据权利要求1所述的定向凝固制备多晶硅锭的方法,其特征在于,所述的金属发热体所围成的筒形加热组件与坩埚之间的间隙为10~20mm。
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