[发明专利]力/热/电/磁多场耦合下测试金属薄膜失效行为的装置有效
| 申请号： | 201010572438.9 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102081140A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王飞;黄平;卢天健;徐可为 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁多场 耦合 测试 金属 薄膜 失效 行为 装置 | ||
【权利要求书】：
1.力/热/电/磁耦合场下检测微机电系统失效行为的装置，其特征在于，内嵌电阻丝的加热台(10)置于隔热台(9)上方，加热台(10)连接有电源(11)，隔热台(9)两端设置有对流循环冷却水(3)；被测金属薄膜(8)置于加热台(10)上面，并在试样表面设置热电偶(7)，纳米压入传动装置(1)连接传送杆(4)，纳米压入传送装置(1)和被测金属薄膜(8)之间的传送杆(4)两侧分别安置隔热挡板(2)，每块隔热挡板(2)两侧设置循环冷却水(3)，磁极(6)置于隔热台两侧。
2.根据权利要求1所述的力/热/电/磁耦合场下检测微机电系统失效行为的装置，其特征在于，磁极(6)的磁场均可控，其范围分别为：加热温度从室温至200℃；直流电流0-3A；磁场0-1T。
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