[发明专利]一种可调光束能量衰减装置

权利要求书

1.一种光束能量可调衰减装置，其特征在于包括：所述的装置用于调节从光源进入光刻设备照明系统的光束能量，并放置于投影光刻机中照明光源和照明系统之间，第一平板玻璃(1)、第二平板玻璃(2)、第一装夹机构(3)、第二装夹机构(4)、传动机构(5)、电机(6)和角度探测装置(7)，第一平板玻璃(1)与第二平板玻璃(2)相对放置，第一平板玻璃(1)的一端面部置于第一装夹机构(3)的装夹部之间，第二平板玻璃(2)的一端面部置于装夹机构(4)的装夹部之间，第一装夹机构(3)的固接端和第二装夹机构(4)的固接端分别与传动机构(5)的两端刚性连接在一起，电机(6)的轴的两端分别连接传动机构(5)和角度探测装置(7)；第一平板玻璃(1)位于照明光源之后，照明光源发出的光束透射过第一平板玻璃(1)后，由于入射光束同第一平板玻璃有一定入射角度，光束的位置发生了偏移，光束的强度产生了衰减；电机(6)和角度探测装置(7)通过电动传杆驱动两个互相咬合的齿轮转动，带动装夹机构(4)控制相对放置的第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)反向同步旋转运动，用以改变照明光源的光束在第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)上的入射角度，从而改变光源发出的光束经过光束能量可调衰减装置后的输出强度，控制了照明系统的入射光能量，也就控制了基片上的曝光剂量。

2.根据权利要求1所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于：第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)反向同步旋转，保证连续改变光束的强度的同时不改变入射光束的位置。

3.根据权利要求1所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于：所述的第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)的表面涂有用于提高其反射率的薄膜，所述薄膜单层涂层的薄膜和多层涂层的薄膜。

4.根据权利要求3所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于：所述第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)的多层涂层还包括在叠层厚度上随机变化的双层叠层。

5.根据权利要求1所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于：所述第一装夹机构(3)、第二装夹机构(4)是玻璃夹或玻璃框，所述玻璃夹或玻璃框用于将第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)固定在传动机构(5)上的机构。

6.根据权利要求1所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于：所述传动机构(5)包括两个互相咬合的齿轮和一个电动转杆，所述传动机构是用于带动第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)做旋转运动的机构。

7.根据权利要求1所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于：所述的电机(6)是步进电机、伺服电机及力矩电机中的一种。

8.根据权利要求1所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于，所述的角度探测装置(7)和电机(6)配套使用，用于精确定位第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)的旋转角度。

9.根据权利要求1所述的光束能量可调衰减装置，其特征在于，所述的角度探测装置(7)是编码器。