[发明专利]等离子体织构化反应装置

权利要求书

1.一种等离子体织构化反应装置，包括：

腔室，包括介质窗和腔室本体并且容纳待织构化的太阳能电池晶片；

多边形感应线圈，设置在所述介质窗的外侧上部以产生用于产生等离子体的磁场；

高频低功率供应单元，向所述腔室的阴极供应与处理条件相对应的高频功率；以及

高频源功率供应单元，向多边形感应线圈供应高频功率。

2.根据权利要求1所述的等离子体织构化反应装置，其中，多边形至少是矩形。

3.根据权利要求1所述的等离子体织构化反应装置，其中，感应线圈包括具有径向结构的感应线圈。

4.根据权利要求1所述的等离子体织构化反应装置，其中，感应线圈包括具有多组感应线圈平行地彼此相连的结构的感应线圈。

5.根据权利要求1所述的等离子体织构化反应装置，其中，感应线圈包括具有批次式结构的感应线圈，在所述批次式结构中，多个感应线圈布置成矩阵模式以产生与相应的太阳能电池晶片有关的磁场。

6.根据权利要求1所述的等离子体织构化反应装置，其中，感应线圈包括具有批次式结构的感应线圈，在所述批次式结构中，在水平方向上布置有多个感应线圈，并且在竖直方向上布置有位于布置在水平方向上的所述多个感应线圈下方或上方的多个感应线圈。

7.根据权利要求1所述的等离子体织构化反应装置，其中，感应线圈包括具有在单个感应线圈内部顺序地设有具有同一形状或不同形状的至少一个感应线圈的结构的感应线圈。

8.根据权利要求7所述的等离子体织构化反应装置，其中，所述单个感应线圈或设在所述单个感应线圈内部的至少一个感应线圈包括多边形感应线圈或圆筒形感应线圈。

9.根据权利要求7或8所述的等离子体织构化反应装置，其中，所述单个感应线圈或设在所述单个感应线圈内部的至少一个感应线圈在高频功率分配器的控制下独立地调整放射的高频功率，以允许相应区域的离子密度以期望的程度被均匀地调整。

10.根据权利要求1所述的等离子体织构化反应装置，其中，所述高频低功率供应单元包括多个高频功率发生器和多个高频匹配部件，以调整离子能量的强度和密度以及自由基浓度。

11.根据权利要求10所述的等离子体织构化反应装置，其中，所述多个高频功率发生器产生具有同一频率或不同频率的高频功率。