[发明专利]基于角锥棱镜轴系径向跳动的测量装置无效
| 申请号： | 201010573794.2 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102062581A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 杨文志;曹学东;景洪伟;许玮琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 棱镜 径向 跳动 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.基于角锥棱镜轴系径向跳动的测量装置，其特征在于：由激光器(1)、分光镜(2)、角锥棱镜(3)、轴系(4)、计算机(5)、数据采集单元(6)及PSD位置传感器(7)组成；其中在激光器(1)输出的激光光束线上设置分光镜(2)，分光镜(2)出射面出射的激光光束线分别垂直于角锥棱镜(3)的接收面和PSD位置传感器(7)的接收面，角锥棱镜(3)安装在轴系(4)的旋转体上，角锥棱镜(3)的顶点端与轴系(4)的转轴重合；数据采集单元(6)的输入端与PSD位置传感器(7)的输出端连接，计算机(5)的数据端与数据采集单元(6)的输出端连接；激光器(1)的激光光束通过分光镜(2)到达角锥棱镜(3)，激光光束经角锥棱镜(3)反射回后，再由分光镜(2)反射到达PSD位置传感器(7)的接收面；当角锥棱镜(3)随轴系(4)旋转时，角锥棱镜(3)出射到PSD位置传感器(7)上的光斑随着轴系(4)的径向跳动而在PSD位置传感器(7)的靶面上以2倍关系运动；数据采集单元(6)的输入端接收PSD位置传感器(7)的输出端PSD位置传感器(7)上的光斑随着轴系(4)的径向跳动，通过计算机(5)对光斑采集分析得出轴系(4)的径向跳动。
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