[发明专利]微型流体系统用支撑单元及其制造方法

说明书

本申请是申请号为03804567.2，申请日为2003年2月25日，发明名称为《微型流体系统用支撑单元及其制造方法》的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明是关于在支撑体上将中空细丝敷设固定成规定的形状的微型流体系统用支撑单元及其制造方法。

背景技术

在化学或生化学的领域，关于应用微型电子机械系统(MEMS；Micro Electro Mechanical system)技术的反应系统或分析装置的小型化的研究正在进行。在以往的研究开发中，存在具备构成要素的微型马达、微型泵浦的单一机能的微型化的机械要素(微型机械)。

为了进行目的化学反应与化学分析，需要多个组合微型机械等的各种零件来加以系统化。一般，这些系统的完成型被称为微型反应器系统(Micro Reactor System)、微型化学分析系统(μTAS：Micro Total Analysis System)。通常，微型机械适用半导体制造过程，形成于硅芯片上。将多个要素形成(聚积)在一个芯片上而将其系统化，在原理上是可能的，其编组实际上也正在进行。但是，其制作过程复杂，可预想到在量产规模上是不易制造的。因而提出：在硅基板的规定的位置以蚀刻等形成沟槽做成流路的芯片型基板(毫微反应器)作为连接多个微型机械等而形成流体回路(系统)的方法。比起上述的聚积化的方法具有制造变得更容易的优点。但是，流路断面积小，流体与沟槽侧的接口阻抗大。在现状，其流路长度最大为mm单位，在实际进形合成反应与化学分析，反应与分析的工序数、量受到限制。

但是，其制作过程复杂，可预想到在量产等级是不易制造的。因此，在近年，提出：在硅基板的规定的位置以蚀刻等形成沟槽做成流路的芯片型基板作为连接多个微型机械等而形成流体回路的方法。对于该方法，比起上述的聚积化的方法具有制造变得更容易的优点。但是，另一方面，对于该方法存在：流路断面积小，流体与沟槽侧的接口阻抗大，在现状，其流路长度最大为mm单位，在实际进形合成反应与化学分析，反应与分析的工序数、量受到限制的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而完成的。即，本发明的目的是在于：提供制造容易且反应与分析的工序数与量不受限制的cm单位的长距离的微型流体系统用支撑单元。

本发明的另一目的在于：提供即使复杂的流体回路也不需要场所的小型微型流体系统用支撑单元。

本发明的又一目的在于：提供能够形成复杂的流体回路的微型流体系统用支撑单元的制造方法。

为了实现上述目的，本发明的第1特征的要旨为：具备(a)第一支撑体，(b)设在该第一支撑体的表面的第一粘合剂层，(c)在该第一粘合剂层敷设成任意形状的中空细丝，以及(d)具备在该在第一粘合剂层敷设成任意形状的作为微型流体系统的流路层来发挥机能的中空细丝的微型流体系统用支撑单元。在本发明的第1特征中，由于能以交叉在该中空细丝的形式，更可以立体地敷设中空细丝，因此，能够提供：精准度良好、容易制造，且反应与分析的工序数与量不受限制的cm单位的长距离的微型流体系统用支撑单元。而且，若根据本发明的第1特征，由于可提供即使复杂的流体回路，也不需要场所的小型微型流体系统用支撑单元，因此也可以谋求微型流体系统本身的细致化。

本发明的第2特征的要旨为：具备(a)第一支撑体，(b)设在该第一支撑体的表面的第一粘合剂层，(c)由在该第一粘合剂层敷设成任意形状、且分别作为微型流体系统的多个流路层来发挥机能的多个中空细丝所构成的第一中空细丝组群的微型流体系统用支撑单元。在本发明的第2特征中，由于在由多个中空细丝所构成的中空细丝组群，能够立体地敷设由与这些交叉的多个中空细丝所构成的第二中空细丝组群，故能够提供：精准度良好、容易制造，且反应与分析的工序数与量不受限制的cm单位的长距离的微型流体系统用支撑单元。而且，若根据本发明的第1特征，由于可提供即使复杂的流体回路，也不需要场所的小型微型流体系统用支撑单元，因此也可以谋求微型流体系统本身的细致化。其中，

本发明的第3特征的要旨为：包含(a)在第一支撑体的表面形成第一粘合剂层的步骤和(b)在该第一粘合剂层的表面敷设中空细丝的步骤的微型流体系统用支撑单元的制造方法。本发明的第3特征的微型流体系统用支撑单元的制造方法是使用在第1特征说明过的微型流体系统用支撑单元。若根据本发明的第3特征，能够提供：可形成复杂的流体回路的小型微型流体系统用支撑单元的制造方法。