[发明专利]级联型光纤总磷含量检测传感器及其制作方法无效

专利信息
申请号: 201010574480.4 申请日: 2010-12-06
公开(公告)号: CN102486457A 公开(公告)日: 2012-06-06
发明(设计)人: 杨成樾;周静涛;刘焕明;申华军 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01N21/17 分类号: G01N21/17;G01N21/01
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 级联 光纤 含量 检测 传感器 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种级联型光纤总磷含量检测传感器,其特征在于,该传感器包括一单模光纤和一多模光纤,且单模光纤和多模光纤以级联的方式相距一定长度固定安装在同一个带有V型槽的基板上,其中光信号输入端为一单模光纤,光信号输出端为一多模光纤,两根光纤之间相距一定距离,并利用上下两组V型槽基板实现光纤的固定安装。

2.根据权利要求1所述的级联型光纤总磷含量检测传感器,其特征在于,用于固定光纤的上固定块同时确定了传感器的测试工作区域,该测试工作区域为两根光纤之间相距的长度,并在传感器的外管壳上制作有相应的导流孔用于被测试液体的导入和导出。

3.根据权利要求1所述的级联型光纤总磷含量检测传感器,其特征在于,所述单模光纤和多模光纤都是一端口为平头光纤,一端口为标准的FC/PC接头,两根光纤的平头端被一同固定安装在具有V型槽的基板内。

4.根据权利要求1所述的级联型光纤总磷含量检测传感器,其特征在于,所述单模光纤采用芯径为9微米的标准单模光纤,所述多模光纤采用芯径为50微米的标准多模光纤。

5.一种级联型光纤总磷含量检测传感器的制作方法,其特征在于,该方法包括:

V型槽定位结构的制作;以及

级联光纤总磷传感器的制作。

6.根据权利要求5所述的级联型光纤总磷含量检测传感器的制作方法,其特征在于,所述V型槽定位结构的制作包括:

利用KOH水溶液在50°水浴条件下腐蚀硅片,制作V型槽;再将腐蚀后的硅片经划片切割成不同大小尺寸的带有V型槽结构的基板;选择较小尺寸的作为光纤上固定块,选择较大尺寸的作为光纤下固定基板;在光纤下固定基板的V型槽中放置一根裸光纤,后将光纤上固定块放在其上压紧,在光纤上固定块和光纤下固定基板接缝处点胶预固定,再移走裸光纤,完成V型槽定位结构的制作。

7.根据权利要求5所述的级联型光纤总磷含量检测传感器的制作方法,其特征在于,所述级联光纤总磷传感器的制作包括:

将单模光纤和多模光纤的一端剥除保护涂层,并经切割形成平头结构;再将单模光纤和多模光纤分别从V型槽定位结构的两端穿入其中,用密封胶将外侧定位孔封死同时也将单模光纤和多模光纤固定在其中;最后用外管壳将V型槽定位结构整体套住,并以环氧树脂粘结固定,完成级联光纤总磷传感器的制作。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所,未经中国科学院微电子研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010574480.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top