[发明专利]一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器无效
| 申请号： | 201010577317.3 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102128655A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 吴俊辉;朱小茅;沈寒冰 | 申请（专利权）人： | 苏州谷之道软件科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69;B81B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 主从 空腔 结构式 汽车 用热膜 空气 流量 mems 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器(100)，是通过MEMS工艺在膜加热电阻(1)和膜测温电阻(2)基底区域刻蚀一个主空腔(3)，同时在膜加热电阻和膜测温电阻引线(4)基底区域刻蚀一个从空腔(5)。
2.如权利要求书1，一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，其特征在于：所述的膜加热电阻和膜测温电阻包括但不限于铂(Pt)膜。
3.如权利要求书1，一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，其特征在于：所述的基底区域包括但不限于硅(Si)片。
4.如权利要求书1，一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，其特征在于：所述的MEMS工艺刻蚀方式包括干法刻蚀方式和湿法刻蚀方式。
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