[发明专利]一种微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法

权利要求书

1.一种微型压阻式壁面剪应力测量装置，包括壁面剪应力感测部分(1)、弹性变形部分(2)、压敏电阻(3)、导线(4)和焊盘(5)和基底(6)；整个装置通过所述基底(6)安装固定在待测结构(7)上，所述的感测部分(1)、弹性变形部分(2)和基底(6)由微加工工艺整体加工得到，其特征在于：壁面剪应力感测部分(1)的上表面与待测结构(7)的被测表面平齐，弹性变形部分(2)位于感测部分(1)和基底(6)之间，且弹性变形部分(2)与待测结构(7)之间具有间隙以保证弹性变形部分(2)的弯曲不受其他结构限制，压敏电阻(3)位于弹性变形部分(2)上，导线(4)和焊盘(5)将压敏电阻(3)与外部的测量电路连接起来。

2.一种如权利要求1所述的微型压阻式壁面剪应力测量装置，其特征在于：所述的压敏电阻(3)置于弹性变形部分(2)上靠近基底(6)的地方。

3.一种如权利要求1所述的微型压阻式壁面剪应力测量装置的制作方法，包括如下步骤：

步骤1：在硅片正面制作压敏电阻(3)；

步骤2：在硅片正面制作金属导线(4)和焊盘(5)；

步骤3：在硅片背面进行刻蚀减薄，得到弹性变形部分(2)；

步骤4：正面穿透刻蚀，释放剪应力感测部分(1)和弹性变形部分(2)部分的结构；

步骤5：划片，得到分离的微型压阻式壁面剪应力测量装置。