[发明专利]套刻标记有效
| 申请号： | 201010578054.8 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102543954A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 黄玮 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F9/00 |
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| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 标记 | ||
1.一种套刻标记，在至少两个光刻层次生成，其特征在于：每个光刻层次的套刻标记均是由等间距放置的正方形或在水平方向和垂直方向设有对称长边的正多边形组成的nxn阵列，且同一光刻层次阵列中的所述正方形或所述正多边形尺寸相等，不同光刻层次阵列中的所述正方形或所述正多边形尺寸不同，所述n为大于等于3的奇数。
2.根据权利要求1所述的套刻标记，其特征在于：不同光刻层次的所述正方形或所述正多边形对应边长的差值至少大于3微米。
3.根据权利要求1所述的套刻标记，其特征在于：在理想状态下，各层次套刻标记的阵列中心重叠。
4.根据权利要求3所述的套刻标记，其特征在于：所述阵列中心的所述正方形或所述正多边形的水平方向和垂直方向对应边长之间的间距大于该各层次的套刻规范。
5.根据权利要求4所述的套刻标记，其特征在于：所述阵列中心周围的所述正方形或所述正多边形对应边之间的距离至少有一组是不等的。
6.根据权利要求5所述的套刻标记，其特征在于：阵列中心周围的小尺寸正方形或正多边形必须完全嵌套在阵列中心周围的大尺寸正方形或正多边形内。
7.根据权利要求1所述的套刻标记，其特征在于：所述套刻标记可放于产品划片槽中。
8.根据权利要求1所述的套刻标记，其特征在于：所述套刻标记小于38微米。
9.根据权利要求1所述的套刻标记，其特征在于：每个层次的套刻标记均是由九个对称相等间距放置的3x3阵列相同而组成。
10.根据权利要求1至9中任意一项所述的套刻标记，其特征在于：所述在水平方向和垂直方向有对称长边的正多边形为正四边形或正八边形。
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