[发明专利]光刻线宽测试校准方法

权利要求书

1.一种光刻线宽测试校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

S100、光刻圆片曝光；

S101、将曝光后的圆片放置若干天；

S102、基准扫描电镜测试整片圆片所有点的线宽，并保存放入数据库中；

S103、日常校准，测试圆片上第一组测试点数据，并与所述数据库中数据比较，计算第一差值；

S104、判断所述第一差值是否在规范内，是否需要调整；若否，结束当前校准。

2.根据权利要求1所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，若S104的第一差值不在规范内，需要调整，则进行以下步骤：

S105，测试圆片上第二组测试点数据，并与数据库中数据比较，计算第二差值；

S106、判断所述第二差值是否与所述第一差值一致；若一致，则校准设备，并结束当前校准。

3.根据权利要求2所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，若所述第二差值与所述第一差值不一致时，则以第二差值为准，并结束当前校准。

4.根据权利要求2所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，若所述第二差值与所述第一差值一致，则在下次校准时使用所述第一组测试点。

5.根据权利要求3所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，若所述第二差值与所述第一差值不一致，则在下次校准时使用所述第二组测试点。

6.根据权利要求2至5中任意一项所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，所述第一组测试点和所述第二组测试点均是圆片上的3～5个测试点。

7.根据权利要求1所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，所述圆片在生产线环境放置至少7天。

8.根据权利要求1所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，每次校准都测试校准圆片上不同的测试点，使每个测试点只测试两次，一次为基准设备收集数据，一次为日常校准。

9.根据权利要求8所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，根据S104的第一差值，判断设备是否漂移。

10.根据权利要求1所述的光刻线宽测试校准方法，其特征在于，基准扫描电镜收集圆片的原始数据，其测试点是管芯内的相同位置。