[发明专利]钛靶铝背板焊接方法无效
| 申请号： | 201010581425.8 | 申请日： | 2010-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102059421A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;李响 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K1/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省余姚市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钛靶铝 背板 焊接 方法 | ||
1.一种钛靶铝背板焊接方法，其特征在于，包括：
提供靶材和背板，所述靶材为Ti靶材，所述背板为Al背板；
在所述Ti靶材的焊接面上形成镍层；
采用钎焊方法将具有镍层的Ti靶材和Al背板结合起来。
2.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，采用钎焊方法将具有镍层的Ti靶材和Al背板结合起来，具体包括：
将所述Ti靶材和Al背板分别加热至预设温度；
在所述Ti靶材具有镍层的焊接面上及Al背板的焊接面上分别放置焊接材料；
使所述Ti靶材具有镍层的焊接面与Al背板的焊接面接触形成结合体；
将Ti靶材和Al背板的结合体置于冷却台上进行冷却处理。
3.根据权利要求2所述的焊接方法，其特征在于，所述Ti靶材的表面为三角形形状，所述冷却台上设置有三个和Ti靶材表面三角形三个顶点相对应的、高于冷却台平面预设值的点。
4.根据权利要求3所述的焊接方法，其特征在于，所述高于冷却台平面预设值的范围为1.5mm～2.0mm。
5.根据权利要求4所述的焊接方法，其特征在于，对置于冷却台上的Ti靶材和Al背板的结合体施加400N～500N的力。
6.根据权利要求2所述的焊接方法，其特征在于，所述预设温度范围为160℃～170℃。
7.根据权利要求2所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接材料为In。
8.根据权利要求2所述的焊接方法，其特征在于，在所述Ti靶材具有镍层的焊接面上及Al背板的焊接面上分别放置焊接材料之后，还包括：对所述Ti靶材和Al背板分别进行超声处理。
9.根据权利要求8所述的焊接方法，其特征在于，所述超声处理的时间为15min～20min。
10.根据权利要求1～9任一项所述的焊接方法，其特征在于，采用化学镀或电镀方法在所述Ti靶材的焊接面上形成镍层。
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