[发明专利]一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法

权利要求书

1.一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括如下具体步骤：

a) 将高纯熔融石英原料投入球磨机中进行湿法造粒，控制研磨后的料浆粒径在10??m ~50??m；

b) 将上述料浆取出后充分搅拌，再转入浇注罐中注入石膏模具，在石膏模具中静置使其充分脱水成型，然后进行脱模；

c) 脱模后在干燥炉内进行干燥，干燥温度控制在100~180℃；

d) 将干燥后的熔融石英坩埚放入窑炉中进行烧结，烧结温度控制在1000~1300℃，烧结时间为14~24小时，烧结后即得本发明所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，步骤a)中所用的高纯熔融石英原料的组分及各组分的质量百分含量为：

二氧化硅                          >99.75%

氧化铝                              <2000ppm

氧化铁                              <50ppm

氧化钠                              <50ppm

其它组分为原料中不可避免的杂质。

3.根据权利要求1所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，步骤a)中所用的高纯熔融石英原料由块状料和粒状料组成。

4.根据权利要求3所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述的块状料与粒状料的质量配比为(25:75)～(30:70)。

5.根据权利要求3所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述的块状料的外形几何尺寸小于60mm。

6.根据权利要求3所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，所述的粒状料的几何尺寸小于20mm。

7.根据权利要求1所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，步骤b)中的料浆搅拌时间为120~168小时。

8.根据权利要求1所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法，其特征在于，步骤b)中的料浆在石膏模具中的静置时间为10~20小时。