[发明专利]一种FeCoTaZr系合金溅射靶材及其制造方法

权利要求书

1.一种FeCoTaZr系合金溅射靶材，其特征在于：所述FeCoTaZr系合金溅射靶材的原子比组成式用Fe_x-Co_y-Ta_z-Zr_100-(x+y+z)表示，其中，17≤x≤80，17≤y≤80，2≤z≤15，且x+y+z＜100；所述FeCoTaZr系合金溅射靶材的显微组织由弥散的富Ta、Zr元素的合金相和FeCo合金相组成。

2.根据权利要求1中所述的FeCoTaZr系合金溅射靶材，其特征在于：所述富Ta、Zr元素的合金相和FeCo合金相的平均直径为100μm以下。

3.权利要求1或2所述的FeCoTaZr系合金溅射靶材的制造方法，其步骤如下：

(1)、对Fe、Co、Ta、Zr四种单质元素按照配比进行真空感应熔炼，得到充分合金化的合金熔液；

(2)真空浇铸：将步骤(1)所得充分合金化的合金熔液自铸造模具开口上方直接浇铸，所述合金液体在冷却过程中的冷却速率为10²～10⁴℃/s。

4.根据权利要求3中所述的FeCoTaZr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于：在浇铸时，所述充分合金化的合金熔液保持在熔点以上的温度。

5.根据权利要求4中所述的FeCoTaZr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于：所述充分合金化的合金熔液的温度为比合金熔点高50～80℃。

6.根据权利要求5中所述的FeCoTaZr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于：所述充分合金化的合金熔液的温度为1520℃～1560℃。

7.根据权利要求3中所述的FeCoTaZr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于：所述铸造模具的四周由保温耐热材料制成，底部为金属铜，所述金属铜下面为冷却系统。

8.根据权利要求7中所述的FeCoTaZr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于：所述冷却系统包括冷却水和金属制造的管道。