[发明专利]工艺数据采集方法、装置及系统有效
申请号: | 201010582567.6 | 申请日: | 2010-12-07 |
公开(公告)号: | CN102569009A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 高伟勃;杨洋;刘振华 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;G06F17/40 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 苏培华 |
地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工艺 数据 采集 方法 装置 系统 | ||
1.一种工艺数据采集方法,其特征在于,包括:
接收批量数据采集请求,所述批量数据采集请求中包含数据采集列表标识信息;
获取所述批量数据采集请求中数据采集列表标识信息对应的数据采集列表,所述数据采集列表中包含多个工艺数据类型标识信息;
遍历所述数据采集列表中的各工艺数据类型标识信息,逐个采集各工艺数据类型标识信息对应的工艺数据,并将采集到的各工艺数据进行保存;
当所述数据采集列表中所有工艺数据类型标识信息对应的工艺数据都采集完毕并保存后,将保存的所有工艺数据批量返回。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将采集到的各工艺数据进行保存,包括:
将采集到的各工艺数据按照遍历顺序添加到数组中进行保存。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:
按照时间间隔定时接收批量数据采集请求。
4.一种工艺数据采集方法,其特征在于,包括:
发送批量数据采集请求,所述批量数据采集请求中包含数据采集列表标识信息,所述数据采集列表中包含多个工艺数据类型标识信息;
批量读取采集到的所述数据采集列表中多个工艺数据类型标识信息对应的工艺数据。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,还包括:
启动数据采集线程并设为等待状态;
监控工艺状态信息;
当根据所述工艺状态信息判断工艺开始后,激活所述数据采集线程并设为激活状态;
则所述发送批量数据采集请求和批量读取为:由所述数据采集线程发送批量数据采集请求,并由所述数据采集线程批量读取采集到的所述数据采集列表中多个工艺数据类型标识信息对应的工艺数据;
当根据所述工艺状态信息判断工艺结束后,将所述数据采集线程设为等待状态。
6.根据权利要求4或5所述的方法,其特征在于:
按照时间间隔定时发送批量数据采集请求。
7.一种下位机装置,其特征在于,包括:
请求接收模块,用于接收批量数据采集请求,所述批量数据采集请求中包含数据采集列表标识信息;
列表获取模块,用于获取所述批量数据采集请求中数据采集列表标识信息对应的数据采集列表,所述数据采集列表中包含多个工艺数据类型标识信息;
批量数据采集模块,用于遍历所述数据采集列表中的各工艺数据类型标识信息,逐个采集各工艺数据类型标识信息对应的工艺数据,并将采集到的各工艺数据进行保存;
数据返回模块,用于当所述数据采集列表中所有工艺数据类型标识信息对应的工艺数据都采集完毕并保存后,将保存的所有工艺数据批量返回。
8.根据权利要求7所述的下位机装置,其特征在于,所述批量数据采集模块包括:
列表遍历单元,用于遍历所述数据采集列表中的各工艺数据类型标识信息;
数据采集单元,用于逐个采集各工艺数据类型标识信息对应的工艺数据;
数据保存单元,用于将采集到的各工艺数据按照所述列表遍历单元的遍历顺序添加到数组中进行保存。
9.根据权利要求7或8所述的下位机装置,其特征在于:
所述请求接收模块按照时间间隔定时接收批量数据采集请求。
10.一种数据获取装置,其特征在于,包括:
请求发送模块,用于发送批量数据采集请求,所述批量数据采集请求中包含数据采集列表标识信息,所述数据采集列表中包含多个工艺数据类型标识信息;
数据读取模块,用于批量读取采集到的所述数据采集列表中多个工艺数据类型标识信息对应的工艺数据。
11.根据权利要求10所述的数据采集控制系统,其特征在于:
所述请求发送模块按照时间间隔定时发送批量数据采集请求。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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