[发明专利]振动片、振子、物理量传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有：

基部；以及

从所述基部延伸的多个振动臂，其具有彼此相对的第1主面和第2主面、以及连接所述第1主面和所述第2主面且彼此相对的第1侧面和第2侧面，

所述多个振动臂中的至少一个振动臂的所述第1侧面具有从所述第1主面侧起设置的第1阶梯部和从所述第2主面侧起设置的第2阶梯部，

该振动片具有：

第1电极，其设于所述振动臂的所述第2侧面；

第2电极，其设于所述第1阶梯部的与所述第1电极相对的位置；以及

第3电极，其设于所述第2阶梯部的与所述第1电极相对的位置。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

在所述第1电极和所述第2电极之间产生的电场方向与在所述第1电极和所述第3电极之间产生的电场方向为彼此相反的方向。

3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

所述振动臂具有激励电极和检测电极，所述检测电极使用所述第1电极～所述第3电极。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述振动片为如下形状：从所述基部的一端部和与所述一端部相对的另一端部分别延伸出2个所述振动臂。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述第1侧面侧的蚀刻速率比所述第2侧面侧高。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述多个振动臂各自的所述第1阶梯部和所述第2阶梯部设置在所述第1侧面。

7.一种振子，其特征在于，该振子具有：

权利要求1～6中的任意一项所述的振动片；以及

收纳所述振动片的封装。

8.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有权利要求1～6中的任意一项所述的振动片。

9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1～6中的任意一项所述的振动片。