[发明专利]太阳能电池用硅片的钻石线切割设备及工艺

权利要求书

1.太阳能电池用硅片的钻石线切割设备，包括导轮部分，导轮部分中包括两个主槽轮，其特征在于，在两个主槽轮之间增加一个直径小于主槽轮的小槽轮，小槽轮的轮槽上端外径切线与两主槽轮的轮槽上端外径切线重合，保持在同一水平位置，小槽轮的槽形与两主槽轮的槽形相同，过小槽轮圆心的垂线到两个主槽轮圆心的距离相等，小槽轮作为导轮，用于导引通过两主槽轮间的钻石钢线，从而达到减小其在切割过程中的抖动性，使得该设备具备较好的钢线运行稳定性。

2.太阳能电池用硅片的钻石线切割工艺，其特征在于，所述工艺包括如下次序的步骤：

（1）选择硬度与待切割硅棒相当的材质粘接在切割料座上，并用10kg的砝码压紧4小时，所述粘接材质可选用大理石，所述粘接剂为粘接剂为914胶，，粘接剂与固化剂的比例为：1：1～1：3，优选1：2；

（2）将所要加工的硅棒粘接在大理石上，并用15kg砝码压紧6小时，粘接剂为914胶，粘接剂与固化剂的比例为：1：3～1：5，优选1：4；

（3）将与切割硅棒长度相同的树脂条粘接在硅块的上方，所用粘接剂为914胶，粘接时间为4小时，所述树脂条宽度为3mm，厚度为1mm；

（4）硅棒切割过程中冷却水温度为23度，切割时的冷却水流量为100～120L/min，优选110L/min；

（5）本发明所涉及硅棒在切割过程中的钻石线锯张力为26～28N，优选27N；

（6）本发明所涉及硅棒在切割结尾处，即剩余1/8～1/10的切割行程，优选1/9，采用0.5～0.7mm/min的切割速度，优选0.6mm/min； 

 （7）切割后的硅片去胶冲洗水的温度为50～70度，优选60度；冲洗时间为10～15min，优选13min。