[发明专利]射频匹配方法及装置、等离子体设备

权利要求书

1.一种用于等离子体腔室的射频匹配方法，其特征在于，包括如下步骤：

传感器模块获取射频电源的电压幅度检测值|V|′、电流幅度检测值|I|′和相位差检测值α′；根据所述电压幅度检测值|V|′、电流幅度检测值|I|′和相位差检测值α′获取传感器第一输出值，并根据所述电压幅度检测值|V|′获取传感器第二输出值，以及根据所述电流幅度检测值|I|′获取传感器第三输出值，并将所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值传送至控制模块；和

所述控制模块根据所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值，获取射频匹配装置的输入阻抗，并根据所述输入阻抗，通过控制执行模块调整匹配网络的阻抗以匹配射频电源的输出阻抗。

2.如权利要求1所述的射频匹配方法，其特征在于，所述传感器模块根据所述电压幅度检测值|V|′、电流幅度检测值|I|′和相位差检测值α′通过以下公式获取所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值，

A3×1=M3×3·|V|′|I|′α′+N3×1,]]>

其中，a₀为传感器第一输出值、a₁为传感器第二输出值、a₂为传感器第三输出值；M_3×3为预设的第一系数矩阵，为常数矩阵。

3.如权利要求2所述的射频匹配方法，其特征在于，所述第一系数矩阵M_3×3为：

M3×3=m11m12m13m21000m320,]]>

其中，m₁₁、m₁₂、m₁₃、m₂₁和m₃₂分别为不为0的常数，所述第一系数矩阵M_3×3对应所述传感器模块的内部电路连接。