[发明专利]开关结构

权利要求书

1.一种装置，包括：

衬底(108)；

设置在所述衬底上的触头(102)；以及

设置在所述衬底上且基本由金属材料组成的导电元件(104)，所述导电元件构造成可在第一位置和第二位置之间变形，在所述第一位置上，所述导电元件与所述触头隔开一段间距，而在所述第二位置上，所述导电元件接触所述触头且存储机械能，

其中，所述导电元件构造成使得在介于约室温和所述金属材料的熔化温度的约一半之间的温度处变形到所述第二位置上达至少10⁷秒的累计时间之后，所述间距在没有外力的情况下经过所述累计时间改变小于20％。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述导电元件在所述第二位置上时与所述触头建立电连通。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述导电元件构造成以便在变形期间存储足以促使所述导电元件在没有外力的情况下基本呈现所述第一位置的能量。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述触头和所述导电元件是微机电装置或纳米机电装置的一部分。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述导电元件包括从所述衬底延伸的锚固部(106)，以及具有联接到所述锚固部上的端部以便从所述锚固部上伸出悬臂的梁。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述导电元件构造成使得当所述导电元件在介于约室温和所述金属材料的熔化温度的约一半之间的温度处变形到所述第二位置上时，所述锚固部中的最大非局部化稳态应变率保持小于约10^-12s^-1。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述导电元件构造成使得所述导电元件最初变形到所述第二位置上会在所述锚固部中引起第一弹性应变，而且在介于约室温和所述金属材料的熔化温度的约一半之间的温度处变形到所述第二位置上达至少10⁷秒的累计时间之后，所述锚固部经历小于所述第一弹性应变的约一半的最大非局部总塑性应变。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述金属材料包含至少65％原子百分比的镍和至少1％原子百分比的钨的合金，而且所述导电元件构造成使得当所述导电元件在所述第一位置和所述第二位置之间变形时，所述锚固部中的应力小于1000MPa。

9.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述金属材料包含至少80％原子百分比的金，而且所述导电元件构造成使得当所述导电元件在所述第一位置和所述第二位置之间变形时，所述锚固部中的应力小于20MPa。

10.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述梁具有长度和厚度，并且其中，所述长度小于所述厚度的约200倍且小于所述间距的约1000倍。