[发明专利]表面性状测量装置

权利要求书

1.一种表面性状测量装置，包括：

旋转驱动装置，构造成使被测量物旋转；

粗糙度检测器，包括检测器本体和尖笔，尖笔可位移地设置在检测器本体的末端、并构造成与被测量物的测量面发生接触；和

检测器驱动装置，包括构造成保持粗糙度检测器的检测器保持器，并构造成沿使检测器保持器趋近或离开旋转驱动装置的方向驱动检测器保持器，

其中，所述粗糙度检测器具有至少一个滑行体，所述至少一个滑行体设置在检测器本体的末端、和尖笔的附近，并构造成与被测量物的测量面发生接触，而且所述粗糙度检测器将基于滑行体的尖笔的位移作为电信号输出，并且

所述检测器保持器包括引导构件、滑动构件和促动构件，所述引导构件被检测器驱动装置驱动，所述滑动构件构造成保持粗糙度检测器、并设置成能够相对于引导构件沿尖笔的位移方向滑动，而所述促动构件构造成促动滑动构件、以使滑行体总是与被测量物的测量面发生接触。

2.如权利要求1所述的表面性状测量装置，其中，滑行体包括夹持尖笔并沿尖笔的突出方向突出的一对滑行体。

3.如权利要求1所述的表面性状测量装置，其中，滑行体设置成沿尖笔的突出方向突出。

4.如权利要求2所述的表面性状测量装置，其中，所述一对滑行体中的一个滑行体的末端从另一滑行体的末端，沿尖笔的位移方向偏移。

5.如权利要求1-4中任一项所述的表面性状测量装置，其中，所述检测器保持器包括构造成检测滑动构件的滑动量的滑动量检测器。