[发明专利]电极形成方法以及电极形成装置

权利要求书

1.一种电极形成方法，其特征在于，包括：

指状电极形成工序，在基板的表面上形成沿第一方向延伸的线状的指状电极；

涂敷工序，使喷出涂敷液的喷嘴相对于上述基板向与上述第一方向不同的第二方向移动，从而与上述指状电极相交叉地在上述基板上涂敷上述涂敷液，其中，上述涂敷液含有电极材料；

固化工序，在从向上述基板上涂敷了上述涂敷液开始经过规定时间后，使上述涂敷液固化以形成汇流电极；和

时间设定工序，在执行上述固化工序之前，基于涂敷在与上述指状电极的交叉部上的上述涂敷液的平坦化时间来设定上述规定时间。

2.一种电极形成方法，其特征在于，包括：

指状电极形成工序，在基板的表面上形成沿第一方向延伸的线状的指状电极，

涂敷工序，使喷出涂敷液的喷嘴相对于上述基板向与上述第一方向不同的第二方向移动，从而与上述指状电极相交叉地在上述基板上涂敷上述涂敷液，其中，上述涂敷液含有电极材料，和

固化工序，在从向上述基板上涂敷了上述涂敷液开始经过规定时间后，使上述涂敷液固化以形成汇流电极；

调整从涂敷了上述涂敷液开始到执行上述固化工序为止的上述规定时间，从而控制在上述指状电极和上述汇流电极的交点处的电极的高度。

3.根据权利要求1或2所述的电极形成方法，其特征在于，在形成有上述指状电极的上述基板上涂敷涂敷液，并预先测定从涂敷了涂敷液开始到上述涂敷液的最大高度和上述指状电极的高度之差变为规定的容许高低差为止的时间，并将该时间作为上述规定时间。

4.根据权利要求1或2所述的电极形成方法，其特征在于，在上述涂敷工序中，将含有光固化性材料的上述涂敷液涂敷到上述基板上，在上述固化工序中，对涂敷到上述基板上的上述涂敷液照射光。

5.根据权利要求4所述的电极形成方法，其特征在于，在上述固化工序中，使照射上述光的光照射单元以与上述喷嘴的移动速度相等或者大致相等的速度相对于上述基板向上述第二方向移动。

6.根据权利要求1或2所述的电极形成方法，其特征在于，在上述指状电极形成工序中，从喷嘴喷出含有电极材料的涂敷液涂敷到基板上，从而形成上述指状电极。

7.根据权利要求1或2所述的电极形成方法，其特征在于，在作为上述基板的光电转换元件的光电转换面上形成上述指状电极以及上述汇流电极。

8.一种电极形成装置，其特征在于，具有：

基板保持单元，保持形成有沿第一方向延伸的线状的指状电极的基板；

喷嘴，喷出含有电极材料的涂敷液；

移动单元，使上述喷嘴相对于上述基板向与上述第一方向不同的第二方向移动；

固化单元，使涂敷到上述基板上的上述涂敷液固化；和

调整单元，调整从向上述基板涂敷了涂敷液开始到利用上述固化单元进行固化为止的时间。

9.根据权利要求8所述的电极形成装置，其特征在于，上述固化单元是向涂敷到上述基板上的上述涂敷液照射光的光照射单元。

10.根据权利要求9所述的电极形成装置，其特征在于，上述移动单元使上述喷嘴和上述光照射单元相对于上述基板一体地移动，上述调整单元调整上述喷嘴和上述光照射单元在上述第二方向上的距离。

11.根据权利要求9所述的电极形成装置，其特征在于，

上述移动单元能够使上述光照射单元相对于上述基板移动，

上述调整单元控制上述移动单元，使得上述喷嘴以及上述光照射单元分别相对于上述基板移动，并且调整从上述喷嘴相对于上述基板移动起上述光照射单元相对于上述基板移动为止的时间。