[发明专利]一种抗蚀防裂增强剂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种抗蚀防裂增强剂组合物，其特征在于，按重量百分比计算，该组合物包含以下分组分：2-50％的微膨胀粉、5-30％的增强粉、5-20％的抗蚀密实剂、10-20％的增塑剂、1-6％的催化剂和10-60％的载体。

2.按照权利要求1所述的抗蚀防裂增强剂组合物，其特征在于，所述微膨胀粉选自铝矾土粉、氢氧化铝、三氧化二铝、铝酸钙、氧化镁、硫酸镁、硅酸镁、氟硅酸镁、硫酸铝和氧化钙中的一种或多种。

3.按照权利要求1所述的抗蚀防裂增强剂组合物，其特征在于，所述增强粉选自硫酸钠、硫酸钙、硫代硫酸钠、氟化钠、甲酸钙、碳酸钠、碳酸钾、氢氧化钠和氢氧化钾中的一种或多种。

4.按照权利要求1所述的抗蚀防裂增强剂组合物，其特征在于，所述抗蚀密实剂选自乙二胺、三乙醇胺、肌氨酸钠、硫酸锆和硫酸锂中的一种或多种。

5.按照权利要求1所述的抗蚀防裂增强剂组合物，其特征在于，所述增塑剂选自甲氧基聚乙二醇、甲基丙烯酸、聚乙二醇单甲醚、烯丙基聚氧乙烯醚和丙烯酸羟乙脂中的一种或多种。

6.按照权利要求1所述的抗蚀防裂增强剂组合物，其特征在于，所述催化剂选自硫酸铵、过硫酸铵、硫酸钾、过氧化氢、巯基乙酸和巯基丙酸中的一种或多种。

7.按照权利要求1所述的抗蚀防裂增强剂组合物，其特征在于，所述载体选自水或工业废料的渣粉，其中所述水选自自来水、纯净水和去离子水中的一种或多种，所述工业废料的渣粉选自矿粉、硅灰、铁渣、锂渣、铝渣和煤灰中的一种或多种。

8.一种制备如权利要求1所述的抗蚀防裂增强剂组合物的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)先按比例将微膨胀粉、增强粉、抗蚀密实粉和催化剂在混合造粒机中混合均匀，然后加入载体水，制粒、烘干并输入到高温炉中融熔，在温度范围1200℃-1800℃下融熔3-5h后，冷却至30℃-80℃，将其输入到球磨机中磨细至比表面为300-500m²/kg，再加入增塑剂并输入到气流粉碎机中，使其固体比表面积为800-1500m²/kg，即得抗蚀防裂增强剂组合物的A剂组分；

(2)在温度为65±2℃含有载体水反应釜中，按比例加入增塑剂、抗蚀密实剂和催化剂，混合溶解反应两小时，降温至40℃后加入增强粉中和至pH值7.0±0.5，再将其输入干燥喷雾塔制得抗蚀防裂增强剂组合物的B剂组分；

(3)将4-9∶1比例的所述A剂组分和B剂组分，与工业废料的渣粉混合，或直接将A剂组分与工业废料的渣粉在混合机中充分混合，即得所述抗蚀防裂增强剂组合物的固体产品。

9.按照权利要求8所述的方法，其特征在于，按重量百分比计算，进一步包括：

在反应釜中按比例加入溶剂载体，升温至80℃-125℃，再分别加入微膨胀粉、催化剂、增强粉、抗蚀密实剂，搅拌溶解完全后降温至30℃-50℃，在其中加入8-15％的抗蚀防裂增强剂的A剂组分，或按比例加入增塑剂，搅拌即得抗蚀防裂增强剂组合物的液体产品。

10.按照权利要求8所述的方法，其特征在于，按重量百分比计算，进一步包括：将所述抗蚀防裂增强剂组合物的A剂组分和所述抗蚀防裂增强剂组合物的B剂组分按1.5-4∶1的比例混合，再分别加入微膨胀粉和抗蚀密实剂，将其在混合机中混合即得抗裂防蚀型增强剂组合物的高效型固体产品。