[发明专利]多晶单片铝酸镁尖晶石

权利要求书

1.一种组合物，所述组合物由晶粒尺寸为70微米或更小且厚度至少为0.5mm的多晶单片铝酸镁组成。

2.一种方法，所述方法包括：

a)提供多晶单片铝酸镁的气态前体；

b)使气态前体反应；和

c)在衬底上沉积多晶单片铝酸镁，沉积速率为0.5-5微米/分钟。

3.一种制品，所述制品包括晶粒尺寸为70微米或更小且厚度至少为0.5mm的多晶单片铝酸镁。

4.一种制品，所述制品包括一个或多个导电且选择性钝化的图案，每个图案包括一个或多个金属层，每个图案结合到晶粒尺寸为70微米或更小且厚度至少为0.5mm的多晶单片铝酸镁层，并位于晶粒尺寸为70微米或更小且厚度至少为0.5mm的多晶单片铝酸镁层之间。

5.根据权利要求4的方法，其特征在于，导电且选择性钝化的图案包括一层或多层金属层。

6.根据权利要求5的方法，其特征在于，通过CVD，PVD，CCVD，CACCVD或电解沉积在所述图案上沉积一层或多层金属层或者金属合金层。