[发明专利]一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液

权利要求书

1.一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液，其特征在于，包含水、研磨颗粒、氧化剂和去除速率促进剂；所述促进剂至少包括一种或多种可溶性含钨化合物。

2.根据权利要求1所述的用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液，其特征在于，所述含钨化合物为含(WO₃)_m·(H₂O)_n通式的各种钨酸、各种钨酸盐、含钨的杂多酸，或含钨的杂多酸盐；其中m、n均为正整数，1≤m≤12，1≤n≤20。

3.根据权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述含钨化合物为正钨酸、正钨酸盐、偏钨酸、偏钨酸盐、磷钨酸、磷钨酸盐、硅钨酸，或硅钨酸盐。

4.根据权利要求3所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述盐为钾盐或铵盐。

5.根据权利要求4所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述的含钨化合物为钨酸钾。

6.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述去除速率促进剂的重量百分含量为0.001~2.0 %。

7.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述氧化剂为过氧化氢、过氧化脲、过氧甲酸、过氧乙酸、过硫酸盐、过碳酸盐、高碘酸、高氯酸、高硼酸、高锰酸钾和硝酸铁中的一种或多种。

8.根据权利要求7所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中，所述氧化剂重量百分含量为0.01~10.0 %。

9.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述研磨颗粒包括二氧化硅、氧化铝、掺杂铝或覆盖铝的二氧化硅、二氧化铈、二氧化钛、或高分子研磨颗粒中一种或多种。

10.根据权利要求8所述的化学机械抛光液，其特征在于，所述二氧化硅研磨颗粒包括锻造二氧化硅或是胶体二氧化硅。

11.根据权利要求9所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中，所述研磨颗粒的重量百分含量为0.01~5.0 %。

12.根据权利要求1所述化学机械抛光液，其特征在于，所述促进剂还包括硝酸或是硝酸盐。

13.根据权利要求12所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中，所述硝酸或硝酸盐重量百分含量为0~0.01 %。