[发明专利]常关态场发射型射频微机械开关无效
| 申请号： | 201010591238.8 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102064041A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;王立峰;唐洁影;韩磊;张晓兵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H36/00 | 分类号： | H01H36/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 常关态场 发射 射频 微机 开关 | ||
【权利要求书】：
1.一种常关态场发射型射频微机械开关，包括低损耗衬底（1），绝缘介质薄膜（2）、共面波导的信号线（5）和地线（3），信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线（3）及信号线（5）与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜（2），其特征在于两根信号线（5）相邻的端部各设有一排金属微尖（4），两排金属微尖（4）之间有间隔；低损耗衬底（1）与两排金属微尖（4）相对应的位置内凹形成一个空腔（6），使两排金属微尖（4）处于悬空状态。
2.如权利要求1所述的常关态场发射型射频微机械开关，其特征在于两排金属微尖（4）均呈锯齿状，且呈尖对尖的一一对应关系。
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